检测项目

1.焦距偏差：测量实际焦距与设计值的偏差范围（0.1%@546.1nm）

2.球面像差：波前误差≤λ/4RMS（λ=632.8nm）

3.透过率均匀性：可见光波段（400-700nm）透射率差异≤1.5%

4.表面面形精度：PV值≤0.25λ（ISO10110-5标准）

5.调制传递函数：MTF值≥0.6@30lp/mm空间频率

检测范围

1.精密成像镜头组（含非球面透镜组合）

2.激光谐振腔反射镜组

3.投影光路系统棱镜阵列

4.显微镜物镜多层镀膜组件

5.光纤耦合器准直系统

检测方法

1.ASTME903-20《材料太阳光吸收比测试方法》用于光谱透过率分析

2.ISO10110-7:2017《光学元件表面缺陷公差》指导表面疵病检测

3.GB/T26331-2010《光学系统成像质量评价方法》规范MTF测试流程

4.ISO14997:2018《光学元件表面缺陷检验》规定干涉法测量标准

5.GB/T10988-2009《光学系统杂散光测试方法》控制系统散射指标

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/100PV值测量

2.TriopticsImageMasterHRMTF测试仪：最大支持200lp/mm空间频率分析

3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：190-2500nm宽光谱透过率测试

4.OLYMPUSMX63金相显微镜：500X放大倍率表面缺陷观测系统

5.NewportLPX-200准直光源：输出功率稳定性0.25%/4h

6.OptikosLensCheck焦距仪：测量精度0.01mm@f=10-500mm

7.ThorlabsPAX1000偏光分析仪：消光比测量范围0-60dB

8.KeysightN7788B光波元件分析仪：1520-1620nm波段群延迟测试

9.MitutoyoCMMCRYSTA-ApexS坐标测量机：空间定位精度0.6+L/400μm

10.LabsphereLMS-7600积分球系统：直径760mm全空间光通量测量