检测项目

1.平面度公差：测量表面与理想平面的最大偏差值（≤0.01mm/㎡）
2.平行度偏差：双平面间距波动量（0.005mm）
3.表面粗糙度：Ra值范围0.1-3.2μm
4.波纹度分析：波长0.1-10mm的周期性起伏
5.局部凹陷检测：深度分辨率达0.5μm

检测范围

1.金属材料：铝合金基板/不锈钢密封面
2.非金属材料：陶瓷基片/碳纤维复合材料
3.精密机械部件：液压阀块/机床导轨
4.光学元件：棱镜基面/激光反射镜
5.电子元件：半导体晶圆/PCB覆铜板

检测方法

1.激光干涉法：ASTME1155平面度测量规范
2.白光共聚焦法：ISO25178表面形貌标准
3.三坐标测量法：GB/T16857-2017验收标准
4.电容式传感法：GB/T6062-2018粗糙度测试规程
5.数字图像处理法：ISO12179几何产品规范

检测设备

1.HexagonGlobalS三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
2.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
3.MitutoyoSJ-410粗糙度仪：行程范围350mm
4.RenishawXL-80激光干涉系统：线性精度0.5ppm
5.KeyenceVR-5000三维轮廓仪：Z轴重复精度0.02μm
6.ZeissSurfcomFlex表面分析仪：扫描速度100mm/s
7.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：量程6mm
8]AliconaInfiniteFocus光学测量系统：20倍物镜配置
9]MarSurfLD260电感式测头：分辨率0.001μm
10]Optoflat电子平晶仪：直径300mm校准基准面