检测项目

1.压电常数(d33/d31)：测量范围500pC/N，精度1.5%
2.介电常数(εr)：频率范围1kHz-1MHz，温度范围-50℃-150℃
3.弹性柔顺系数(sE11)：测试载荷0.1-50N，分辨率0.001μm
4.居里温度(Tc)：升温速率2℃/min，测温精度0.5℃
5.密度偏差：阿基米德法测量，分辨率0.001g/cm

检测范围

1.α-石英单晶（天然矿床）
2.铌酸锂(LiNbO3)人工晶体
3.钽酸锂(LiTaO3)基片材料
4.PZT压电陶瓷复合材料
5.氧化锌(ZnO)薄膜压电材料

检测方法

1.ASTMD2148-21压电振动子测试规范
2.IEC60250:1969介电性能测量标准
3.GB/T11309-2018压电晶体参数测试方法
4.ISO17561:2016弹性性能纳米压痕法
5.GB/T16535-2008电子级水晶技术条件

检测设备

1.RigakuSmartLabX射线衍射仪：晶体结构分析
2.Agilent4294A阻抗分析仪：介电特性测试
3.ZJ-3型准静态d33测量仪：压电系数测定
4.PerkinElmerDSC8000差示扫描量热仪：居里点检测
5.MettlerToledoXS204电子天平：密度测量
6.BrukerDimensionIcon原子力显微镜：表面形貌分析
7.NetzschDIL402C热膨胀仪：晶格参数测定
8.KeysightE4990A阻抗分析仪：高频介损测试
9.ShimadzuAGS-X万能试验机：机械性能测试
10.OxfordInstrumentsAztecEDS能谱仪：元素成分分析