检测项目
1.气密性测试：泄漏率≤110⁻⁹Pam/s（氦检法）
2.材料厚度测量：精度0.01mm（超声波测厚）
3.表面粗糙度检验：Ra≤0.8μm（轮廓仪测量）
4.抗压强度测试：≥200MPa（液压加载系统）
5.热变形温度测定：≥180℃（热机械分析仪）
检测范围
1.金属合金真空罩（铝合金/钛合金）
2.高分子复合材料防护罩（聚碳酸酯/PEEK）
3.玻璃-金属封接真空腔体
4.半导体晶圆传输真空容器
5.航天器推进剂贮箱密封罩
检测方法
1.ASTME493-22真空系统泄漏率测定法
2.ISO14644-8:2022洁净室表面粒子污染度测试
3.GB/T1040.1-2018塑料拉伸性能试验方法
4.ASTMD638-22塑料拉伸特性标准试验方法
5.GB/T228.1-2021金属材料室温拉伸试验
检测设备
1.INFICONUL1000氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻mbarL/s）
2.Olympus38DLPLUS超声波测厚仪（0.15-500mm量程）
3.TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪（0.8nm分辨率）
4.Instron5967万能材料试验机（50kN载荷精度）
5.NetzschTMA402F3热机械分析仪（-150~1000℃温控）
6.Agilent7890B气相色谱仪（真空脱附气体分析）
7.KeyenceVHX-7000数字显微镜（5000倍表面缺陷观测）
8.PfeifferVacuumASM340检漏系统（全自动压力衰减法）
9.ZEISSAxioImager.A2m金相显微镜（材料微观结构分析）
10.MTSCriterionC45电子万能试验机（高温环境力学测试）