检测项目

1.激活电流密度：测量范围0.1-100mA/cm，精度0.5%
2.几何尺寸公差：长宽误差≤5μm，直角偏差≤0.02
3.表面粗糙度：Ra值0.05-1.6μm，采用白光干涉仪测定
4.热膨胀系数：温度范围-40℃至150℃，CTE≤810⁻⁶/℃
5.疲劳寿命测试：循环次数≥10⁶次@50Hz正弦载荷

检测范围

1.半导体晶圆矩形阵列
2.MEMS压力传感器激活膜片
3.锂离子电池极片涂层
4.OLED显示驱动电极
5.光伏组件导电栅线

检测方法

1.ASTMF1241-22微电子器件表面形貌表征
2.ISO2178:2016非磁性基体镀层厚度测量
3.GB/T20234-2023新能源器件电化学性能测试
4.IEC62133-2:2021可充电电池安全规范
5.JISH8687-1:2020阳极氧化膜耐磨性试验

检测设备

1.KeysightB2902A精密源表：0.1fA-10A电流输出/测量
2.MitutoyoLitematicVL-50：非接触式三维尺寸测量系统
3.BrukerContourGT-X8：白光干涉表面轮廓仪
4.InstronE10000：100kN动态疲劳试验机
5.ThermoScientificPhenomProX：15kV台式扫描电镜
6.Agilent4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz频率范围
7.ESPECPL-3KPH温度冲击箱：-70℃~+180℃转换时间＜10s
8.ZwickRoellZHVμ显微硬度计：0.001-2000N载荷控制
9.GamryInterface5000E电化学工作站：24V槽压范围
10.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：120nm横向分辨率