检测项目

1.线性度误差：全量程范围内最大偏差值≤0.02mm/m
2.重复定位精度：10次测量标准差≤0.005mm
3.温度漂移系数：20-30℃范围内≤0.0015mm/℃
4.机械滞后量：双向运动差值≤0.015mm
5.表面粗糙度：测量面Ra≤0.4μm
6.抗振性能：10-200Hz振动环境下位移波动≤0.01mm

检测范围

1.数控机床直线导轨定位系统
2.工业机器人末端执行器重复定位装置
3.三坐标测量机移动滑轨组件
4.半导体光刻机精密位移平台
5.汽车焊装线多轴联动定位机构
6.航空航天部件装配工装导向系统

检测方法

1.ISO230-2:2014《机床检验通则》第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定
2.GB/T17421.2-2016《机床检验通则》几何精度检测规范
3.ASTME2309-05(2020)线性位移测量系统校准标准
4.JJF1308-2011光栅式位移测量仪器校准规范
5.DIN877-3:2019精密工程测量-第3部分：直线测量系统验收标准

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：分辨率0.001μm的动态位移测量系统
2.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度0.025mm的便携式三维计量设备
3.MitutoyoLH-600测长机：最大量程600mm的接触式精密位移校准仪
4.Keysight5530动态校准仪：频率响应达200Hz的振动环境模拟装置
5.ZygoVerifireMST干涉仪：表面粗糙度测量精度0.01nm的光学检测平台
6.SIOSSP-2000纳米定位系统：亚微米级重复定位精度的基准发生器
7.Fluke629精密测温仪：温度分辨率0.01℃的环境参数记录装置
8.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：非接触式动态位移分析系统