检测项目

1.曲率半径误差：测量精度0.1μm（R=5-500mm）
2.面形精度（PV值）：λ/10-λ/2（λ=632.8nm）
3.中心厚度偏差：0.005-0.02mm（厚度范围1-50mm）
4.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶
5.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（超精密抛光面）

检测范围

1.光学玻璃材质（H-K9L,ZF7,FusedSilica等）
2.树脂材质（CR-39,PMMA,PC）
3.红外材料（ZnSe,Ge,Si）
4.单透镜/双合透镜/胶合透镜
5.微球面透镜（直径0.5-5mm）

检测方法

1.ISO10110-5:2015表面缺陷评定
2.ISO14997:2012光学表面散射测试
3.GB/T7661-2009焦距测量方法
4.ASTMF529-03(2018)球面半径干涉测量
5.GB/T2831-2009光学零件气泡度检验

检测设备

1.ZygoVerifire™MST激光干涉仪：曲率半径测量精度0.05%
2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：面形误差分辨率0.1nm
3.MitutoyoCMMCrysta-ApexS系列：三维尺寸测量精度(1.9+L/250)μm
4.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度测量范围0.1nm-10μm
5.TriopticsOptiCentric双光路中心仪：偏心量测量精度0.5μm
6.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：折射率测试波长范围185-3300nm
7.OlympusMX63金相显微镜：表面缺陷识别分辨率0.3μm
8.PrismMasterPM8000应力仪：双折射测量灵敏度0.1nm/cm
9.Keysight5500AFM原子力显微镜：纳米级表面形貌重建
10.OptoTechAS100定心车床在线检测系统：实时加工误差监控