检测项目
1.分光比误差:测量波长范围400-1600nm内分光比偏差值(1.5%)
2.偏振相关损耗:测试S/P偏振态下损耗差异(≤0.2dB)
3.表面面形精度:PV值≤λ/10@632.8nm
4.透射波前畸变:RMS值≤λ/20@632.8nm
5.温度稳定性:-40℃至+85℃环境下分光比变化量(≤0.8%)
检测范围
1.光学玻璃基板分束器(K9、熔融石英)
2.晶体材料分束器(CaF₂、ZnSe)
3.金属镀膜分束器(Al/Au/Cr基镀层)
4.多层介质膜分束器(TiO₂/SiO₂交替镀层)
5.微结构衍射分束器(二元光学元件)
检测方法
ASTME275-08(2017)紫外-可见分光光度计描述与性能验证
ISO13697:2019光学元件反射率与透射率测量方法
GB/T26333-2010光学晶体双折射测量方法
GB/T18311.3-2001纤维光学器件基本试验第3部分:机械耐久性
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷公差规范
检测设备
1.PerkinElmerLambda1050+双光束分光光度计(光谱范围175-3300nm)
2.ZygoVerifireMST激光干涉仪(波长632.8nm/精度λ/100)
3.ThorlabsPAX1000偏振分析仪(波长范围400-1700nm)
4.Opto-MechanicsTAS100热冲击试验箱(温变速率15℃/min)
5.BrukerContourGT-X3白光干涉仪(垂直分辨率0.1nm)
6.NewportM-URM80微型精密转台(角度分辨率0.001)
7.Agilent4294A精密阻抗分析仪(频率范围40Hz-110MHz)
8.MitutoyoCMM-CrystaPlusM574三坐标测量机(空间精度1μm)
9.OphirVega激光功率计(功率范围20nW-30W)
10.SCHOTTCTF1250气候试验箱(湿度控制范围10-98%RH)