检测项目

测量范围验证：10-5 Pa至102 Pa区间线性度测试

精度等级校准：±1% FS（满量程）误差限值分析

零点漂移测试：连续24小时工作条件下的基线稳定性

热传导系数稳定性：温度波动±5℃时的输出偏差

响应时间测定：90%阶跃压力变化的响应时长≤500 ms

检测范围

半导体制造设备：刻蚀机、离子注入机真空腔体

真空镀膜设备：光学镀膜、PVD/CVD反应腔

科研实验室设备：同步辐射装置、分子束外延系统

医疗真空设备：MRI低温泵组、灭菌舱真空监测

航空航天部件：卫星推进剂贮箱、空间环境模拟舱

检测方法

ASTM E2971-22：真空规校准标准方法（静态膨胀法）

ISO 3567:2021：真空计与真空系统的比对测试规范

GB/T 34873-2017：热传导真空计检定规程

GB/T 3163-2022：真空技术术语及测量不确定度评估

ASTM E2932-19：真空系统泄漏率测试通用导则

检测设备

INFICON PCG550：全量程皮拉尼规校准系统，支持10-6~1000 mbar动态测试

MKS 925 MicroPirani：高精度真空计校验仪，分辨率0.1%读数

Agilent PVG5：宽量程热传导真空规，集成温度补偿算法

Leybold THERMOVAC TTR 91：多通道真空规测试平台，符合ISO 3567 Class 1

国产ZJ-52D：恒压式标准漏孔装置，漏率范围1×10-9~1×10-4 Pa·m³/s