检测项目
测量范围验证：10-5 Pa至102 Pa区间线性度测试
精度等级校准：±1% FS（满量程）误差限值分析
零点漂移测试：连续24小时工作条件下的基线稳定性
热传导系数稳定性：温度波动±5℃时的输出偏差
响应时间测定：90%阶跃压力变化的响应时长≤500 ms
检测范围
半导体制造设备：刻蚀机、离子注入机真空腔体
真空镀膜设备：光学镀膜、PVD/CVD反应腔
科研实验室设备：同步辐射装置、分子束外延系统
医疗真空设备：MRI低温泵组、灭菌舱真空监测
航空航天部件：卫星推进剂贮箱、空间环境模拟舱
检测方法
ASTM E2971-22：真空规校准标准方法（静态膨胀法）
ISO 3567:2021：真空计与真空系统的比对测试规范
GB/T 34873-2017：热传导真空计检定规程
GB/T 3163-2022：真空技术术语及测量不确定度评估
ASTM E2932-19：真空系统泄漏率测试通用导则
检测设备
INFICON PCG550：全量程皮拉尼规校准系统，支持10-6~1000 mbar动态测试
MKS 925 MicroPirani：高精度真空计校验仪，分辨率0.1%读数
Agilent PVG5：宽量程热传导真空规，集成温度补偿算法
Leybold THERMOVAC TTR 91：多通道真空规测试平台，符合ISO 3567 Class 1
国产ZJ-52D：恒压式标准漏孔装置，漏率范围1×10-9~1×10-4 Pa·m³/s