检测项目

1.气体泄漏率：测量范围110⁻⁹~110⁻Pam/s，适用氦气/氢气示踪介质
2.液体渗透系数：测试压力0.1~40MPa，精度0.05μL/min
3.微孔缺陷定位：分辨率≤5μm，支持X/Y/Z三轴坐标记录
4.密封面接触应力：量程0~200N/mm，温度补偿范围-60~300℃
5.循环压力疲劳：交变频率0.1~10Hz，最大循环次数10⁷次

检测范围

1.高分子密封材料：硅胶密封圈、氟橡胶阀座、PTFE垫片
2.金属焊接部件：不锈钢管道环焊缝、铝合金压铸件
3.电子封装组件：IGBT模块塑封体、晶圆级封装结构
4.压力容器系统：LNG储罐双层壳体、液压蓄能器
5.生物医疗器具：预灌封注射器、血液透析器膜组件

检测方法

1.ASTME493-22氦质谱累积法真空箱检漏规程
2.ISO15848-1:2015工业阀门微泄漏分级测试标准
3.GB/T15171-2023软包装件密封性能试验方法
4.ASTMF2095-20医疗器械包装完整性气泡法
5.MIL-STD-750-4Method1071微电子器件细检漏程序

检测设备

1.INFICONL300i氦质谱检漏仪：检出限510⁻mbarL/s
2.VICLeakMasterLDS3000差压式泄漏测试台：量程500Pa
3.NikonXTH450工业CT：空间分辨率3μm@200kV
4.MTSC45.305液压伺服系统：动态载荷精度0.5%FS
5.Agilent490MicroGC：分析周期＜30s（4通道）
6.PfeifferASM390氦检漏模块：响应时间＜1s
7.UsonAccuTrakIV压力衰减仪：灵敏度0.001psi
8.KeyenceTM-3000电子显微镜：最大倍率30000
9.ThermoFisherPrimaPRO质谱仪：质量范围1-100amu
10.ZwickRoellHCT400热机械分析仪：位移分辨率0.1nm