检测项目

尺寸精度检测：测量范围±50mm，误差限值±0.5μm

形状公差检测：平面度≤0.8μm/m，圆度误差≤1.2μm

表面粗糙度检测：Ra值0.05-10μm，Rz值0.1-50μm

温度漂移测试：温度范围-10℃~50℃，漂移量≤0.003%/℃

动态响应特性：采样频率≥10kHz，阶跃响应时间≤0.1ms

检测范围

金属加工件：包括轴承、齿轮、导轨等精密机械部件

高分子材料制品：工程塑料齿轮、密封圈等模压件

陶瓷基复合材料：半导体封装基板、切削刀具等

光学元件：透镜、棱镜、反射镜等光学表面

电子元器件：PCB板、连接器、微型传感器等

检测方法

ISO 10360系列：坐标测量机性能验证标准

ASTM E2544：激光跟踪仪测量系统校准规范

GB/T 1800.1-2020：产品几何技术规范（GPS）基础

ISO 12780-2011：直线度误差测量方法

GB/T 6062-2009：表面粗糙度比较样块校准规范

检测设备

三坐标测量机：Mitutoyo CMM Crysta-Apex S系列，测量精度(1.7+3L/1000)μm

激光干涉仪：Renishaw XL-80，线性测量分辨率0.001μm

轮廓仪：Taylor Hobson Form Talysurf i系列，垂直分辨率0.8nm

圆度仪：Tokyo Seimitsu RA-2200，主轴回转精度±0.025μm

白光干涉仪：Zygo NewView 9000，垂直扫描范围300μm，横向分辨率0.3μm