检测项目
1.绝对压力测量：范围110⁻⁹Pa至110⁵Pa，精度3%读数
2.泄漏率测试：灵敏度110⁻Pam/s（氦质谱法）
3.抽气速率验证：测量范围0.1L/s至5000L/s
4.残余气体分析：质量数范围1-300amu
5.真空保持性测试：24小时压力变化≤5%初始值
检测范围
1.真空镀膜设备腔体及密封组件
2.半导体制造用分子泵系统
3.医用灭菌包装材料阻隔性能
4.航天器推进剂贮箱密封结构
5.低温超导磁体杜瓦容器
检测方法
ASTME493-22：氦质谱检漏仪校准与测试规程
ISO3567:2022：真空计比对校准方法
GB/T3163-2020：真空技术术语与图形符号
GB/T6070-2021：真空泵性能测试方法
ISO21360:2019：真空技术-罗茨泵验收规范
检测设备
1.INFICONHLD5000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s
2.AgilentUHV-24电离规：测量范围110⁻⁰Torr至110⁻Torr
3.LeyboldTURBOVAC361分子泵：极限压力510⁻⁰mbar
4.MKS925型电容薄膜规：精度0.15%读数（1Torr至1000Torr）
5.PfeifferVacuumQMG220质谱仪：质量分辨率0.5amu
6.EdwardsXDS35干式涡旋泵：抽速35m/h（60Hz）
7.CanonANELVAMR-200磁悬浮转子规：量程110⁻⁴Pa至110⁵Pa
8.Varian944系列电离规控制器：四通道规管控制单元
9.KurtJ.LeskerATS系列自动测试系统：集成多传感器数据采集模块
10.ShimadzuGCMS-QP2020NX气相色谱质谱联用仪：用于残余气体成分分析