检测项目

1.绝对压力测量：范围110⁻⁹Pa至110⁵Pa，精度3%读数

2.泄漏率测试：灵敏度110⁻Pam/s（氦质谱法）

3.抽气速率验证：测量范围0.1L/s至5000L/s

4.残余气体分析：质量数范围1-300amu

5.真空保持性测试：24小时压力变化≤5%初始值

检测范围

1.真空镀膜设备腔体及密封组件

2.半导体制造用分子泵系统

3.医用灭菌包装材料阻隔性能

4.航天器推进剂贮箱密封结构

5.低温超导磁体杜瓦容器

检测方法

ASTME493-22：氦质谱检漏仪校准与测试规程

ISO3567:2022：真空计比对校准方法

GB/T3163-2020：真空技术术语与图形符号

GB/T6070-2021：真空泵性能测试方法

ISO21360:2019：真空技术-罗茨泵验收规范

检测设备

1.INFICONHLD5000氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s

2.AgilentUHV-24电离规：测量范围110⁻⁰Torr至110⁻Torr

3.LeyboldTURBOVAC361分子泵：极限压力510⁻⁰mbar

4.MKS925型电容薄膜规：精度0.15%读数（1Torr至1000Torr）

5.PfeifferVacuumQMG220质谱仪：质量分辨率0.5amu

6.EdwardsXDS35干式涡旋泵：抽速35m/h（60Hz）

7.CanonANELVAMR-200磁悬浮转子规：量程110⁻⁴Pa至110⁵Pa

8.Varian944系列电离规控制器：四通道规管控制单元

9.KurtJ.LeskerATS系列自动测试系统：集成多传感器数据采集模块

10.ShimadzuGCMS-QP2020NX气相色谱质谱联用仪：用于残余气体成分分析

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与真空度检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。