检测项目
1.光强空间分布：测量范围为0.1-10000W/m，分辨率≤1%FS
2.波前相位精度：PV值≤λ/20（λ=632.8nm），RMS≤λ/100
3.光谱透射率：覆盖200-2500nm波段，精度0.5%
4.光束质量因子M：测量误差≤3%，符合ISO11146标准
5.偏振态分析：消光比≥30dB，斯托克斯参数测量精度0.01
检测范围
1.光学玻璃基片：包括熔融石英、BK7等材质透镜/棱镜
2.镀膜元件：AR/HR/MIR光学镀膜层性能验证
3.光纤器件：保偏光纤、光子晶体光纤传输特性
4.半导体材料：GaN、InP等衬底的光致发光特性
5.激光系统：固体/光纤/半导体激光器输出特性
检测方法
1.ASTME903-20材料光谱透射率测试方法
2.ISO13694:2018激光光束功率密度分布测量规范
3.GB/T26189-2010激光光束质量测试方法
4.ISO10110-5:2015光学元件波前畸变测试标准
5.GB/T13742-2019光学偏振态测量技术要求
检测设备
1.ZYGOVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV精度λ/100
2.ThorlabsBP209-IR光束分析仪：探测面阵10241280像素
3.OceanOpticsHR4000光谱仪：分辨率0.1nm@600nm
4.HamamatsuC12880微型光谱模块：波长范围340-850nm
5.KeysightN7788B偏振分析仪：支持50MHz实时采样
6.OphirSP928积分球辐射计：直径150mm0.5%精度
7.Newport2936-R功率计：量程50nW-3W0.8%
8.PrimesFocusMonitorFM：M因子测量重复性1%
9.OptoTestOPMM-W偏振维持测试系统：消光比40dB@1550nm
10.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：带宽0.1-8nm可调