检测项目

1.泄漏率测试：量化单位时间气体泄漏量（≤110^-9Pam/s）
2.压力衰减测试：监测系统压力变化（ΔP≤0.5%/min）
3.氦气示踪测试：采用质谱法定位微泄漏点（灵敏度≥110^-12mbarL/s）
4.真空度保持测试：评估系统极限真空度（≤510^-3Pa）
5.温度循环测试：验证-55℃~125℃工况下密封性能
6.振动疲劳测试：模拟运输/工作振动环境（5-2000Hz,10g加速度）

检测范围

1.航空航天部件：燃料储罐、推进器密封舱、航天服气密层
2.半导体设备：晶圆反应腔体、真空镀膜机、光刻机真空系统
3.医疗器材：人工心脏瓣膜、血液透析器、医用真空包装
4.新能源装置：锂电池外壳、燃料电池双极板、储氢容器
5.工业设备：真空阀门、制冷压缩机、真空炉密封法兰

检测方法

1.ASTME493-22：氦质谱真空箱法检漏标准
2.ISO20486:2017：静态升压法泄漏量计算规范
3.GB/T32218-2015：压力变化法真空容器检漏规程
4.ASTME1603-19：示踪气体喷吹定位法实施标准
5.GB/T15112-2020：气密性试验通用技术要求
6.ISO10648-2:2021：密封箱体泄漏率分级标准

检测设备

1.INFICONUL1000氦质谱检漏仪：分辨率0.1μg/s，集成自动校准模块
2.AgilentVS-Series真空计组：量程覆盖110^-9~1000Torr
3.LeyboldPHOENIXL300i：四极杆质谱系统（灵敏度510^-13mbarL/s）
4.EdwardsTIC系列涡轮分子泵组：极限真空≤510^-8mbar
5.PfeifferVacuumASM340检漏仪：双通道传感器设计（氦/氢双模式）
6.Varian979系列电离规管：线性测量范围110^-10~110^-3Torr
7.KurtJ.LeskerLTC-2000型自动检漏台：集成PLC控制系统
8.EdwardsXDS35i干式涡旋泵：无油设计（抽速35m/h）
9.MKS925型微压差传感器：分辨率0.01Pa（量程0-100kPa）
10.ShimadzuGP-100R氦回收系统：回收效率≥95%

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与真空检漏检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。