检测项目
1.光学均匀性：测量折射率偏差（Δn≤210⁻⁶），采用波前畸变RMS值（≤λ/10@632.8nm）
2.表面粗糙度：Ra≤0.5nm（超光滑表面），PV值≤5nm（高精度元件）
3.透射率特性：250-2500nm波段透过率≥99.5%（AR镀膜），吸收损耗≤0.1%/cm
4.折射率均匀性：Δn≤510⁻⁶（大口径光学玻璃），梯度分布≤110⁻⁶/cm
5.热膨胀系数：CTE≤710⁻⁷/℃（低膨胀材料），温度循环（-50℃~+150℃）稳定性测试
检测范围
1.光学玻璃：K9、熔融石英、氟磷酸盐玻璃等
2.光学薄膜：增透膜、分光膜、高反膜（1064nm/1550nm）
3.晶体材料：CaF₂、ZnSe、Si等红外窗口材料
4.光学涂层：疏水涂层、防雾涂层、激光损伤阈值≥5J/cm@1064nm
5.复合材料：碳化硅基反射镜、微晶玻璃基板（Φ600mm以上）
检测方法
1.ASTME903-12：分光光度法测定透射/反射光谱
2.ISO10110-5：光学元件气泡与杂质等级评定
3.GB/T7962.1-2010：无色光学玻璃测试方法（第1部分：折射率）
4.ISO14997：光学元件表面缺陷检验规范
5.GB/T13323-2009：光学零件面形偏差干涉测量法
6.ASTME1967-19：激光诱导损伤阈值测试标准
检测设备
1.ZygoVerifire™MST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000PV
2.TaylorHobsonPGI1240轮廓仪：纵向分辨率0.1nm，扫描长度120mm
3.PerkinElmerLambda1050分光光度计：光谱范围175-3300nm
4.MitutoyoLSM-9020激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm
5.OptoThermIRScube热像仪：温度灵敏度0.03℃，帧频100Hz
6.PrismMasterUV-VIS-NIR椭偏仪：190-1700nm全波段膜厚测量
7.CoherentMonocromator激光损伤测试系统：脉冲能量0-50J/cm可调
8.NetzschDIL402C热膨胀仪：温度范围-160℃~2000℃，分辨率0.125nm
9.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：3D粗糙度测量Sa≤0.01μm
10.Agilent4294A阻抗分析仪：介电常数测试精度0.05%