检测项目
1.泄漏率测定：灵敏度110⁻⁹~110⁻Pam/s
2.真空压力测试：工作压力范围10⁻~10⁻⁶Pa
3.系统响应时间：氦气峰值检出时间＜3秒
4.背景噪声分析：本底信号强度≤510⁻⁰A
5.累积泄漏量：24小时累积泄漏值≤0.01g/a
检测范围
1.航空航天：火箭燃料贮箱、航天器密封舱体
2.核工业：反应堆压力容器、核燃料运输罐
3.半导体：高纯气体管路、晶圆工艺腔体
4.医疗器械：人工心脏瓣膜、血液透析设备
5.新能源：燃料电池双极板、锂电池封装壳体
检测方法
ASTME493-22《StandardTestMethodforLeaksUsingtheMassSpectrometerLeakDetectorintheInside-OutTestingMode》规定正压法测试流程
ISO20486:2017《Leakdetectionsystems-Heliummassspectrometers》明确校准规范
GB/T12604.7-2021《无损检测术语泄漏检测》定义技术指标
GB/T34632-2017《密封元件氦质谱检漏方法》规范密封件测试程序
ASMEBPVCSectionVArticle10规定压力容器验收标准
检测设备
1.PfeifferASM340：四极杆质谱仪，最小可检漏率510⁻Pam/s
2.LeyboldPHOENIXL300i：双通道检漏仪，支持正/负压双模式测试
3.AgilentVS-SNS215：分子泵机组真空系统，极限真空510⁻⁷Pa
4.INFICONUL1000Fab：半导体专用检漏仪，抗污染设计
5.EdwardsXDS35i：干式涡旋泵真空机组，无油污染风险
6.Varian979-0025：标准漏孔校准装置（110⁻⁸~110⁻Pam/s）
7.ShimadzuMS-Q1500：快速响应质谱仪（0.5s延迟时间）
8.CanonANELVAM-090QG：四极杆质量过滤器（1-200amu）
9.KurtJ.LeskerL150i：全自动真空集成系统（PLC控制）
10.EdwardsTIC100：热导真空计（测量范围10⁻~10⁻⁶Pa）