真空氦检检测

检测项目

1.泄漏率测定：灵敏度110⁻⁹~110⁻Pam/s

2.真空压力测试：工作压力范围10⁻~10⁻⁶Pa

3.系统响应时间：氦气峰值检出时间＜3秒

4.背景噪声分析：本底信号强度≤510⁻⁰A

5.累积泄漏量：24小时累积泄漏值≤0.01g/a

检测范围

1.航空航天：火箭燃料贮箱、航天器密封舱体

2.核工业：反应堆压力容器、核燃料运输罐

3.半导体：高纯气体管路、晶圆工艺腔体

4.医疗器械：人工心脏瓣膜、血液透析设备

5.新能源：燃料电池双极板、锂电池封装壳体

检测方法

ASTME493-22《StandardTestMethodforLeaksUsingtheMassSpectrometerLeakDetectorintheInside-OutTestingMode》规定正压法测试流程

ISO20486:2017《Leakdetectionsystems-Heliummassspectrometers》明确校准规范

GB/T12604.7-2021《无损检测术语泄漏检测》定义技术指标

GB/T34632-2017《密封元件氦质谱检漏方法》规范密封件测试程序

ASMEBPVCSectionVArticle10规定压力容器验收标准

检测设备

1.PfeifferASM340：四极杆质谱仪，最小可检漏率510⁻Pam/s

2.LeyboldPHOENIXL300i：双通道检漏仪，支持正/负压双模式测试

3.AgilentVS-SNS215：分子泵机组真空系统，极限真空510⁻⁷Pa

4.INFICONUL1000Fab：半导体专用检漏仪，抗污染设计

5.EdwardsXDS35i：干式涡旋泵真空机组，无油污染风险

6.Varian979-0025：标准漏孔校准装置（110⁻⁸~110⁻Pam/s）

7.ShimadzuMS-Q1500：快速响应质谱仪（0.5s延迟时间）

8.CanonANELVAM-090QG：四极杆质量过滤器（1-200amu）

9.KurtJ.LeskerL150i：全自动真空集成系统（PLC控制）

10.EdwardsTIC100：热导真空计（测量范围10⁻~10⁻⁶Pa）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是与"真空氦检检测"相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。