检测项目

1.温度均匀性：工作区纵向温差≤5℃，横向温差≤3℃（GB/T10067.3-2015）
2.升温速率：室温至800℃阶段≥10℃/min（ISO13916:2017）
3.保护气氛氧含量：氢氮混合气氛中O₂≤10ppm（ASTME2209-08）
4.冷却速率控制：水冷段降温梯度≥30℃/s（GB/T13324-2006）
5.炉膛密封性：静态压升率≤0.5Pa/h（ISO10855-3:2020）
6.辐射管表面负荷：≤1.8W/cm（ASTMA312/A312M-2022）
7.传动系统同步精度：辊道速度偏差≤0.5%

检测范围

1.金属材料：不锈钢带材（AISI304/316）、铜合金管材（C12200/C11000）
2.半导体晶圆：硅片（Φ200mm/300mm）、砷化镓衬底
3.玻璃制品：光伏玻璃（3.2mm）、光学玻璃（BK7/H-K9L）
4.磁性材料：非晶合金带材（Fe78Si9B13）、钕铁硼磁体
5.特种合金：镍基高温合金（Inconel718）、钛合金板材（TC4）

检测方法

1.温度场测量：采用GB/T30825-2014多点热电偶布点法
2.气氛分析：执行ISO15349-3:2005红外光谱气体分析法
3.冷却性能测试：依据ASTMD6200-2018淬火介质冷却曲线测定法
4.密封性验证：按GB/T24511-2017氦质谱检漏法实施
5.金相检验：参照ASTME3-11制备试样，E407-07侵蚀观察
6.力学性能测试：执行ISO6892-1:2019拉伸试验标准

检测设备

1.K型高温热电偶测温系统（FlukeCN7500+9143）：0.3%精度多点测温
2.SERVOMEXXPR2氧分析仪：0-100ppm量程，分辨率0.1ppm
3.HORIBAEMGA-920氧氮氢联测仪：符合ISO15350:2000标准
4.KEYENCEVHX-7000数码显微镜：5000倍显微组织分析
5.MTSCriterion万能试验机（型号45）：300kN载荷精度0.5%
6.Agilent490MicroGC：四通道快速气体成分分析
7.INFICONELT3000氦检漏仪：灵敏度达510⁻Pam/s
8.FLIRT865红外热像仪：-40~1500℃测温范围
9.AMETEKJOFRARTC-700B干体炉：温度校准0.05℃
10.BRUEL&KJAER3053-B-060声学相机：密封性声波定位

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与退火设备检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。