


概述:检测项目1.膜层厚度:测量范围50nm-10μm,精度1.5%2.成分分析:Y₂O₃纯度≥99.9%,杂质元素(Fe/Al/Si)含量≤50ppm3.结晶结构:XRD分析晶相组成(立方相/单斜相),晶粒尺寸20-200nm4.表面粗糙度:AFM测试Ra值≤5nm(扫描面积1010μm)5.附着力强度:划痕法测试临界载荷≥20N(划痕速度10mm/min)6.光学性能:400-800nm波段透过率≥85%,折射率1.78-1.827.耐腐蚀性:盐雾试验48小时无剥落(5%NaCl溶液)检测范围1.光学镀膜材
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人委托除外)。
因篇幅原因,CMA/CNAS/ISO证书以及未列出的项目/样品,请咨询在线工程师。
1.膜层厚度:测量范围50nm-10μm,精度1.5%
2.成分分析:Y₂O₃纯度≥99.9%,杂质元素(Fe/Al/Si)含量≤50ppm
3.结晶结构:XRD分析晶相组成(立方相/单斜相),晶粒尺寸20-200nm
4.表面粗糙度:AFM测试Ra值≤5nm(扫描面积1010μm)
5.附着力强度:划痕法测试临界载荷≥20N(划痕速度10mm/min)
6.光学性能:400-800nm波段透过率≥85%,折射率1.78-1.82
7.耐腐蚀性:盐雾试验48小时无剥落(5%NaCl溶液)
1.光学镀膜材料:激光晶体保护层、红外窗口增透膜
2.半导体器件涂层:等离子体刻蚀腔体内衬防护层
3.热障涂层材料:航空发动机涡轮叶片隔热层基材
4.医疗器械涂层:核磁共振设备射频部件绝缘层
5.耐腐蚀涂层材料:化工反应釜防腐内衬复合层
1.ASTMB568-2018《用X射线光谱法测量涂层厚度》
2.ISO22309:2011《微束分析-能谱法定量分析》
3.GB/T23444-2009《金属及其他无机覆盖层厚度测量方法》
4.ISO14703:2022《精细陶瓷薄膜表面粗糙度测试规程》
5.GB/T30757-2014《划痕法测定硬质薄膜结合强度的试验方法》
6.ISO21254-2011《激光诱导损伤阈值测试方法》
7.ASTMG85-2021《改进盐雾试验标准实践》
1.J.A.WoollamM-2000D型光谱椭偏仪:非接触式测量薄膜厚度与光学常数
2.RigakuSmartLabX射线衍射仪:9kW旋转阳极靶材,可测晶格畸变0.0001
3.HitachiSU5000场发射扫描电镜:分辨率0.8nm@15kV,配备牛津EDS探测器
4.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:峰值力轻敲模式,Z轴分辨率0.1nm
5.CSMRevetestXpress划痕测试仪:最大载荷50N,声发射信号灵敏度0.1mV
6.PerkinElmerLambda1050紫外可见分光光度计:波长范围175-3300nm
7.ThermoScientificiCAPRQICP-MS:检出限低至ppt级元素分析
8.Q-FOGCRH1100循环腐蚀盐雾箱:温度控制精度0.5℃
9.ZygoNewView9000白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,横向分辨率0.55μm
10.ShimadzuHMV-G21显微硬度计:载荷范围10gf-2000gf
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
以上是与"氧化钇膜检测"相关的简单介绍,具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检检测技术研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。
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