检测项目

1.直线度误差：测量轴线或平面偏离理想直线的最大偏差值（0.02mm/m）

2.平行度偏差：评估两平面/轴线间平行状态（公差等级IT6-IT8）

3.表面粗糙度：Ra值范围0.4-6.3μm的微观轮廓分析

4.水平倾角误差：角度分辨率达0.001的倾斜量测量

5.线性位移精度：重复定位精度≤3μm/300mm

检测范围

1.金属材料：机床导轨、液压缸筒体等机械部件

2.塑料制品：注塑成型模具型腔、光学导光板

3.玻璃面板：液晶显示器基板、光伏玻璃镀膜层

4.复合材料：碳纤维航空构件、风电叶片主梁

5.陶瓷基板：半导体封装载板、激光反射镜台

检测方法

ASTME1155-14连续水平基准法测定楼面平整度

ISO12781-1:2011几何产品规范(GPS)平面直线度评定

GB/T11336-2004直线度误差检测技术规范

ISO8512-2:2020平板玻璃边缘直线度测量规程

GB/T19600-2017激光干涉仪长度测量系统校准规范

检测设备

HexagonGlobalClassic07.10.07三坐标测量机：空间精度(1.9+3L/1000)μm的接触式扫描系统

RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm的动态校准装置

MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：16nmRa测量精度的触针式轮廓仪

FLUKEPLS6十字线激光仪：360水平扫描精度1mm/30m的工程级标定工具

WYLERClinometerPlus电子水平仪：0.001分辨率的双轴倾角测量模块

KEYENCELJ-V7000线激光传感器：Z轴重复精度0.05μm的非接触式轮廓扫描系统