检测项目
1.光斑直径测量：检测范围1μm-50mm，精度0.5%
2.椭圆度分析：偏差值≤3%，采用ISO11146-1标准
3.M因子计算：基于ISO11146-2标准测试
4.能量密度分布：空间分辨率0.1μm/pixel
5.发散角测定：角度分辨率0.01mrad
检测范围
1.高功率激光器输出光束（波长范围190nm-10.6μm）
2.光学透镜组焦平面光斑
3.光纤耦合器输出端面模式场
4.激光加工头聚焦光束（功率密度≥1kW/cm）
5.医疗激光设备治疗光斑（符合IEC60601-2-22标准）
检测方法
ASTME2848-13《激光束直径测量标准》
ISO11146-1:2021《激光束宽度和发散角测试》
GB/T15175-2012《激光辐射功率能量测试方法》
ISO13694:2018《光学和光子学-激光束功率密度分布测量》
GB/T31359-2015《半导体激光器测试方法》
检测设备
1.NewportLBP2-USB光束轮廓分析仪：CCD分辨率16001200像素
2.OphirSP928UV光束分析仪：紫外波段专用探测器
3.ThorlabsBP209-IR/M红外相机：响应波长900-1700nm
4.CoherentBeamView系列：支持μs级瞬态捕捉
5.DataRayWinCamD-LCM：动态范围70dB以上
6.Gentec-EOBeamage-4M：4百万像素CMOS传感器
7.HamamatsuC10910系列：支持多波长同步测量
8.PrimesFocusMonitor：高功率激光专用衰减系统
9.CinogyC4-HS高速相机：帧率10000fps@12801024
10.SpiriconM2-200s：集成M因子自动计算模块