检测项目

极限真空度：测量系统在稳定状态下达到的最低压力值（≤110^-4Pa）

抽气速率：评估单位时间内气体排出量（10~1000L/s范围精度3%）

漏率测试：氦质谱法测定系统泄漏量（≤110^-9Pam/s）

噪音水平：声压级测量（A计权≤75dB@1m距离）

温升控制：连续运行4小时电机温升（≤65K）

检测范围

半导体制造用分子涡轮真空泵（无油洁净环境）

化工流程用耐腐蚀液环真空泵（PH2-12介质兼容）

医疗设备用微型隔膜真空泵（生物安全二级防护）

食品包装用干式螺杆真空泵（FDA认证材料）

科研用低温吸附真空泵（10^-7Pa超高压强段）

检测方法

ISO21360-1:2012真空技术-容积真空泵性能测量规范

ASTME493/E493M-22质谱仪检漏系统校准规程

GB/T13931-2016电除尘器性能测试方法（漏率章节）

ISO3744:2010声学-噪声源声功率级测定（工程级）

GB/T1032-2021三相异步电动机试验方法（温升试验）

检测设备

AgilentUHV-24四极质谱检漏仪（灵敏度110^-13Pam/s）

EdwardsXDS35干式涡旋真空泵（基准抽速35m/h）

LeyboldCTR91全量程复合真空计（10^-9~10^3Pa量程）

Brel&Kjr2250声级计（IEC61672Class1认证）

FlukeTi480PRO红外热像仪（-20~650℃测温范围）

Keysight34465A6位数字万用表（0.0035%直流精度）

INFICONTLD3000氦泄漏探测器（0.01g/a分辨率）

Siemens7MC2020振动分析仪（20kHz高频采样）

MKS925B电容薄膜规（0.1~1000Torr全量程覆盖）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与捕集真空泵检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。