检测项目
极限真空度：测量系统在稳定状态下达到的最低压力值（≤110^-4Pa）
抽气速率：评估单位时间内气体排出量（10~1000L/s范围精度3%）
漏率测试：氦质谱法测定系统泄漏量（≤110^-9Pam/s）
噪音水平：声压级测量（A计权≤75dB@1m距离）
温升控制：连续运行4小时电机温升（≤65K）
检测范围
半导体制造用分子涡轮真空泵（无油洁净环境）
化工流程用耐腐蚀液环真空泵（PH2-12介质兼容）
医疗设备用微型隔膜真空泵（生物安全二级防护）
食品包装用干式螺杆真空泵（FDA认证材料）
科研用低温吸附真空泵（10^-7Pa超高压强段）
检测方法
ISO21360-1:2012真空技术-容积真空泵性能测量规范
ASTME493/E493M-22质谱仪检漏系统校准规程
GB/T13931-2016电除尘器性能测试方法（漏率章节）
ISO3744:2010声学-噪声源声功率级测定（工程级）
GB/T1032-2021三相异步电动机试验方法（温升试验）
检测设备
AgilentUHV-24四极质谱检漏仪（灵敏度110^-13Pam/s）
EdwardsXDS35干式涡旋真空泵（基准抽速35m/h）
LeyboldCTR91全量程复合真空计（10^-9~10^3Pa量程）
Brel&Kjr2250声级计（IEC61672Class1认证）
FlukeTi480PRO红外热像仪（-20~650℃测温范围）
Keysight34465A6位数字万用表（0.0035%直流精度）
INFICONTLD3000氦泄漏探测器（0.01g/a分辨率）
Siemens7MC2020振动分析仪（20kHz高频采样）
MKS925B电容薄膜规（0.1~1000Torr全量程覆盖）