检测项目

极限真空度：测量泵在稳定工作状态下的最低压力值（110^-7Pa至110^-10Pa）

抽气速率：评估单位时间内气体排出量（5L/s至5000L/s）

泄漏率：使用氦质谱法检测系统密封性（≤110^-9Pam³/s）

振动噪声：监测运行时的机械振动幅度（≤20μm）与声压级（≤65dB(A)）

温升特性：记录连续工作8小时的轴承温度变化（ΔT≤45℃）

检测范围

分子吸附泵：钛升华泵、溅射离子泵

低温吸附泵：液氮冷却式低温泵

化学吸附泵：非蒸散型吸气剂泵

复合式真空机组：涡轮分子泵+吸附泵组合系统

特种环境用泵：抗辐射型/防爆型吸附泵

检测方法

ASTME595-2018真空系统总质量损失测试规范

ISO21360-3:2019真空泵性能测定第三部分：特定参数测量

GB/T3163-2007分子真空泵性能测试方法

GB/T6070-2007真空技术容积真空泵噪声测定

ISO1608-2:2020容积真空泵试验方法第二部分：极限压力测定

检测设备

AgilentUHV-24四极质谱仪：用于残余气体分析与泄漏定位（分辨率0.5amu）

LeyboldPHOENIXL300真空计组：覆盖110^-9Pa至1000Pa全量程测量

INFICONELT3000氦检漏仪：灵敏度达510^-12Pam³/s

Keysight35670B动态信号分析仪：振动频谱分析（频率范围0-100kHz）

Fluke2680A数据采集系统：64通道温度/压力同步监测

EdwardsSTP-A4503涡轮分子泵组：建立超高真空测试环境（极限压力510^-8Pa）

Brel&Kjr2270声级计：A计权噪声测量精度0.5dB

SiemensSIMATICS7-1500PLC：自动化测试流程控制与数据记录

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与吸着泵检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。