检测项目
极限真空度：测量泵在稳定工作状态下的最低压力值（110-7Pa至110-10Pa）
抽气速率：评估单位时间内气体排出量（5L/s至5000L/s）
泄漏率：使用氦质谱法检测系统密封性（≤110-9Pam3/s）
振动噪声：监测运行时的机械振动幅度（≤20μm）与声压级（≤65dB(A)）
温升特性：记录连续工作8小时的轴承温度变化（ΔT≤45℃）
检测范围
分子吸附泵：钛升华泵、溅射离子泵
低温吸附泵：液氮冷却式低温泵
化学吸附泵：非蒸散型吸气剂泵
复合式真空机组：涡轮分子泵+吸附泵组合系统
特种环境用泵：抗辐射型/防爆型吸附泵
检测方法
ASTME595-2018真空系统总质量损失测试规范
ISO21360-3:2019真空泵性能测定第三部分：特定参数测量
GB/T3163-2007分子真空泵性能测试方法
GB/T6070-2007真空技术容积真空泵噪声测定
ISO1608-2:2020容积真空泵试验方法第二部分：极限压力测定
检测设备
AgilentUHV-24四极质谱仪：用于残余气体分析与泄漏定位（分辨率0.5amu）
LeyboldPHOENIXL300真空计组：覆盖110-9Pa至1000Pa全量程测量
INFICONELT3000氦检漏仪：灵敏度达510-12Pam3/s
Keysight35670B动态信号分析仪：振动频谱分析（频率范围0-100kHz）
Fluke2680A数据采集系统：64通道温度/压力同步监测
EdwardsSTP-A4503涡轮分子泵组：建立超高真空测试环境（极限压力510-8Pa）
Brel&Kjr2270声级计：A计权噪声测量精度0.5dB
SiemensSIMATICS7-1500PLC：自动化测试流程控制与数据记录