检测项目
1.线性位移范围：0.5mm至50mm（分辨率0.1μm）
2.重复定位精度：≤0.8%F.S.（23℃2℃环境）
3.动态响应频率：DC-10kHz（相位延迟＜5μs）
4.多维空间偏差：XYZ三轴同步测量（最大合成误差≤1.2μm/m）
5.温度漂移系数：≤0.005%F.S./℃（-20℃~80℃）
检测范围
1.金属材料：钛合金/铝合金/高强钢的蠕变位移监测
2.复合材料：碳纤维层合板界面滑移量测定
3.精密机械：数控机床主轴轴向窜动检测
4.电子元件：BGA封装焊点热膨胀位移分析
5.建筑结构：桥梁支座多向位移实时监测
检测方法
1.ASTME2309-22《非接触式位移测量系统校准规程》
2.ISO16063-21:2023《振动与冲击传感器校准方法》
3.GB/T11337-2021《形状和位置公差检测规定》
4.GB/T16857-2018《坐标测量机验收检测与复检检测》
5.ISO9283:2020《工业机器人性能规范与测试方法》
检测设备
1.KeyenceLK-G5000激光位移传感器（50mm量程/0.02μm分辨率）
2.Micro-EpsiloncapaNCDT6220电容式传感器（0.5mm/10nm线性度）
3.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪（20MHz采样/纳米级分辨率）
4.RenishawXL-80激光干涉仪（80m量程/0.5ppm精度）
5.MTS642.02高温引伸计（1200℃环境/1μm精度）
6.OMRONZX-LT300激光位移计（300mm量程/50kHz响应）
7.NIPXIe-5171R高速采集卡（14bit/250MS/s同步采样）
8.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂（15μm空间精度）
9.MitutoyoAT715-Lite三坐标机（0.6+L/400μm精度）
10.DIC三维数字图像相关系统（500万帧/秒高速采集）