检测项目

1.字位精度误差：测量X/Y/Z轴定位精度（0.5μm/300mm）

2.重复定位精度：评估8个方向重复性（≤1.5μm）

3.线性位移偏差：全行程累积误差（≤3μm/m）

4.角度偏摆量：俯仰/偏航/滚动角（≤2arcsec）

5.动态响应特性：加速度0.5G下的轨迹跟踪误差（≤0.8μm）

检测范围

1.精密机械主轴系统（空气轴承/磁悬浮轴承）

2.半导体光刻机工作台（晶圆级定位系统）

3.五轴联动数控机床转台（ISO10791-1标准件）

4.工业机器人末端执行器（ISO9283路径精度验证）

5.光学测量仪器导轨系统（花岗岩/陶瓷基材）

检测方法

1.ISO230-2:2014《机床检验通则第2部分：数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定》

2.ASTME2309-05(2020)《精密定位系统性能特征标准试验方法》

3.GB/T17421.2-2016《机床检验通则第2部分：数控轴线的几何精度》

4.JISB6190-6:2019《工业机器人性能试验方法及路径精度测定》

5.VDI/DGQ3441德国标准：统计过程控制(SPC)在位置度检测中的应用

检测设备

1.HexagonGlobalClassic07.10.07三坐标测量机（空间精度0.6+L/350μm）

2.RenishawXL-80激光干涉仪（分辨率0.001μm/80m量程）

3.APIXDLaser六维激光跟踪仪（角度测量精度15μm+6μm/m）

4.KeysightN7788B光学位移传感器（采样率100kHz/纳米级分辨率）

5.Micro-EpsiloncapaNCDT6350电容式测微仪（0.1nm分辨率/100kHz带宽）

6.SIOSSP-2000平面度干涉仪（λ/1000平面度测量精度）

7.Kistler9236A三向加速度计（量程50g/频响10kHz）

8.MitutoyoCrysta-ApexS12000CNC影像仪（亚像素边缘识别技术）