检测项目

1.几何偏差检测：测量X/Y/Z轴方向位移偏差值（0.01-0.5mm）

2.位移重复性验证：连续10次循环测试定位精度（≤2μm）

3.形变误差分析：热膨胀系数（CTE）0.5-2510⁻⁶/℃下的尺寸变化

4.表面平行度测试：平面度误差≤0.005mm/m

5.运动轨迹精度：三维空间轨迹偏差（3μm/100mm）

检测范围

1.机械传动部件：精密齿轮/轴承/丝杠组件

2.光学仪器组件：激光反射镜/棱镜基座

3.半导体制造设备：晶圆传输机械臂/光刻机平台

4.复合材料构件：碳纤维层压板/蜂窝夹芯结构

5.增材制造产品：金属3D打印支撑结构件

检测方法

1.ASTME177-20几何偏差测量规范

2.ISO230-2:2014机床运动精度测试标准

3.GB/T1800.1-2020产品几何技术规范基本公差

4.ISO10360-7:2021坐标测量机性能验证方法

5.GB/T11336-2021直线度误差检测规程

检测设备

1.MitutoyoCRYSTA-ApexS三坐标测量机：空间定位精度(1.9+L/250)μm

2.RenishawXL-80激光干涉仪：线性测量分辨率0.001μm

3.KeyenceLM-9000系列光学位移传感器：采样频率50kHz

4.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：空间精度0.025mm

5.ZygoVerifireMST干涉仪：面形精度λ/20PV值

6.OGPSmartScopeFlash500影像测量系统：放大倍率35X-230X

7.FAROQuantumS臂式测量机：最大允许误差MPEe=15μm

8.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：位移分辨率0.02pm/√Hz

9.AliconaInfiniteFocusG5光学3D测量仪：垂直分辨率10nm

10.NikonNEXIVVMZ-S6560视频测量系统：双轴线性编码器精度(1.5+L/200)μm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与平移对称检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。