检测项目

1.脉冲宽度测量：0.1ns-100ms量程范围，分辨率≤10ps

2.能量密度分析：0.1-100J/cm测量精度3%

3.重复频率测试：1Hz-1MHz频率稳定性0.01%

4.标记深度测定：0.1-500μm三维形貌重建精度0.5μm

5.热影响区评估：HAZ宽度测量范围10-2000μm

检测范围

1.金属材料：不锈钢/铝合金/钛合金表面标记质量评估

2.半导体元件：晶圆刻蚀深度与边缘完整性检测

3.高分子材料：医用导管/包装膜热损伤阈值测定

4.陶瓷基板：微孔阵列尺寸一致性验证

5.复合材料：碳纤维增强塑料层间结合强度分析

检测方法

ASTME1444-16脉冲激光材料处理标准试验方法

ISO11145:2018激光设备参数测量与表征规范

GB/T26184-2010激光加工机械安全要求

GB/T19868.4-2018激光加工质量评定准则

ISO11551:2019光学元件激光损伤阈值测试方法

检测设备

1.OlympusLEXTOLS5000：三维激光共聚焦显微镜（12000放大倍率）

2.KeysightInfiniiumUXR0104A：110GHz带宽示波器（0.5ps时间分辨率）

3.CoherentLaserScan：光束质量分析仪（M测量精度3%）

4.ZeissAxioImager.M2m：金相显微镜（微分干涉对比功能）

5.MalvernPanalyticalMastersizer3000：粒度分析仪（0.01-3500μm量程）

6.BrukerContourGT-X3：白光干涉仪（垂直分辨率0.1nm）

7.FlirA655sc：红外热像仪（640480像素@30Hz）

8.ShimadzuAIM-9000：红外显微镜（15物镜+液氮制冷MCT探测器）

9.MitutoyoSJ-410：表面粗糙度仪（16nm分辨率/350mm量程）

10.HamamatsuC10910D：高灵敏度功率计（10nW-10W量程）