检测项目

1.光束模式分布：测量TEM00/TEM01等模式占比（精度0.5%）

2.光斑直径：测量M因子（范围1.0-3.0）

3.发散角：全角测量精度0.05mrad

4.功率稳定性：30分钟连续测试波动值≤1.5%

5.偏振特性：消光比≥30dB（波长1064nm）

6.空间频率响应：截止频率≥50lp/mm@MTF=0.5

检测范围

1.固体激光器用Nd:YAG/Nd:YVO4光学晶体

2.光纤激光器输出端面及熔接点

3.半导体激光器巴条封装模块

4.光学镀膜元件（增透膜/高反膜）

5.激光切割头聚焦镜组

6.空间光调制器相位均匀性

检测方法

1.ASTME3076-18《激光光束质量测试标准》

2.ISO11146系列激光束宽与发散角测量规范

3.GB/T13740-2017激光辐射功率稳定性测试方法

4.GB/T31359-2015固体激光器主要参数测试方法

5.ISO13694:2018光学激光功率密度分布测试

6.IEC60825-1激光产品安全等级分类标准

检测设备

1.NewportLBP2-USB光束分析仪（分辨率19201200像素）

2.OphirSP928积分球功率计（量程10mW-10kW）

3.ThorlabsBP209-IR/M红外偏振分析仪（波长900-1700nm）

4.CoherentModeMasterUltraM测量系统（重复精度2%）

5.HamamatsuC10910-03高速光电探测器（响应时间1ns）

6.KeysightN9030B频谱分析仪（频率范围3Hz-50GHz）

7.PIS-340高速扫描刀口仪（扫描速度200mm/s）

8.Gentec-EOUP19K-30H-VR功率传感器（孔径直径19mm）

9.DataRayWinCamD-LCM4四象限探测器（采样率10kHz）

10.OptoTestOPB-2000光束轮廓分析软件（支持Zernike多项式拟合）