检测项目
平面度公差：检测范围±0.001-5.000mm，依据ISO 12780-1:2011
表面粗糙度：Ra 0.05-6.3μm，按GB/T 3505-2020评定
局部凹陷深度：测量精度0.1μm，符合ASTM E1493-14
波峰波谷间距：分析周期0.1-50mm，参照ISO 4287:1997
三维曲率半径：检测精度±0.5%，执行GB/T 11337-2004
检测范围
金属板材：冷轧钢板、铝合金板、钛合金板
复合材料：碳纤维层压板、玻璃纤维增强板
塑料制品：注塑平面件、挤出板材、光学薄膜
建筑构件：幕墙玻璃、石材面板、预制混凝土板
精密元件：半导体晶圆、光学镜片、机械导轨
检测方法
激光扫描法：ASTM E2544-11a，GB/T 29513-2013
光学干涉法：ISO 25178-604:2013，GB/T 39190-2020
接触式测量：ISO 12179:2021，GB/T 6062-2021
影像分析法：ASTM E3025-16，GB/T 38762-2020
白光共焦法：ISO 25178-602:2010，GB/T 34879-2017
检测设备
Keyence LJ-V7000系列：非接触激光位移计，分辨率0.01μm
Mitutoyo FLT-C系列：平面度测量仪，重复精度±0.2μm
Zygo NewView 9000：三维光学轮廓仪，垂直分辨率0.1nm
Taylor Hobson Form Talysurf i系列：接触式轮廓仪，行程500mm
Olympus DSX1000：数字显微镜系统，最大放大倍数10000X