检测项目

平面度公差：检测范围±0.001-5.000mm，依据ISO 12780-1:2011

表面粗糙度：Ra 0.05-6.3μm，按GB/T 3505-2020评定

局部凹陷深度：测量精度0.1μm，符合ASTM E1493-14

波峰波谷间距：分析周期0.1-50mm，参照ISO 4287:1997

三维曲率半径：检测精度±0.5%，执行GB/T 11337-2004

检测范围

金属板材：冷轧钢板、铝合金板、钛合金板

复合材料：碳纤维层压板、玻璃纤维增强板

塑料制品：注塑平面件、挤出板材、光学薄膜

建筑构件：幕墙玻璃、石材面板、预制混凝土板

精密元件：半导体晶圆、光学镜片、机械导轨

检测方法

激光扫描法：ASTM E2544-11a，GB/T 29513-2013

光学干涉法：ISO 25178-604:2013，GB/T 39190-2020

接触式测量：ISO 12179:2021，GB/T 6062-2021

影像分析法：ASTM E3025-16，GB/T 38762-2020

白光共焦法：ISO 25178-602:2010，GB/T 34879-2017

检测设备

Keyence LJ-V7000系列：非接触激光位移计，分辨率0.01μm

Mitutoyo FLT-C系列：平面度测量仪，重复精度±0.2μm

Zygo NewView 9000：三维光学轮廓仪，垂直分辨率0.1nm

Taylor Hobson Form Talysurf i系列：接触式轮廓仪，行程500mm

Olympus DSX1000：数字显微镜系统，最大放大倍数10000X