检测项目

平面度偏差：测量基准面与理想平面的最大偏离值（精度要求±0.01mm）

平行度误差：两平面间最大距离与最小距离差值（公差范围0.005-0.03mm）

垂直度偏差：被测平面与基准轴线/面的角度偏离（允许误差≤0.02°）

表面波度：周期性起伏的波长测量（分析范围0.1-10mm）

角度一致性：多平面组合结构的夹角精度（检测分辨率0.001°）

检测范围

精密机械加工金属板材（铝合金/不锈钢/钛合金）

光学器件基板（石英玻璃/氟化钙晶体）

高分子聚合物薄膜（PET/PC/PMMA）

层压复合材料（碳纤维/陶瓷涂层）

半导体晶圆衬底（硅片/氮化镓基板）

检测方法

平面度检测：ISO 12781-2011《几何产品规范(GPS) 平面度》

平行度测定：GB/T 1184-1996《形状和位置公差 未注公差值》

垂直度校准：ASTM E177-20《测量不确定度表示指南》

波度分析：ISO 13565-3-2000《表面粗糙度 轮廓法 表面分层特性》

多角度测量：GB/T 11337-2004《平面度误差检测》

检测设备

三坐标测量机：Hexagon Micro-Hite 3D D8（测量范围800×1000×600mm，空间精度1.9μm）

激光干涉仪：Renishaw XL-80（线性测量分辨率0.001μm，最大量程80m）

光学轮廓仪：Bruker Contour Elite（垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.4μm）

表面粗糙度仪：Mitutoyo SJ-410（行程范围350μm-12.5mm，滤波器截止波长0.25-2.5mm）

电子水平仪：Fluke 8540（角度分辨率0.001°，测量范围±5°）

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与平面族检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。