检测项目
平面度偏差：测量基准面与理想平面的最大偏离值（精度要求±0.01mm）
平行度误差：两平面间最大距离与最小距离差值（公差范围0.005-0.03mm）
垂直度偏差：被测平面与基准轴线/面的角度偏离（允许误差≤0.02°）
表面波度：周期性起伏的波长测量（分析范围0.1-10mm）
角度一致性：多平面组合结构的夹角精度（检测分辨率0.001°）
检测范围
精密机械加工金属板材（铝合金/不锈钢/钛合金）
光学器件基板（石英玻璃/氟化钙晶体）
高分子聚合物薄膜（PET/PC/PMMA）
层压复合材料（碳纤维/陶瓷涂层）
半导体晶圆衬底（硅片/氮化镓基板）
检测方法
平面度检测：ISO 12781-2011《几何产品规范(GPS) 平面度》
平行度测定：GB/T 1184-1996《形状和位置公差 未注公差值》
垂直度校准：ASTM E177-20《测量不确定度表示指南》
波度分析：ISO 13565-3-2000《表面粗糙度 轮廓法 表面分层特性》
多角度测量：GB/T 11337-2004《平面度误差检测》
检测设备
三坐标测量机：Hexagon Micro-Hite 3D D8（测量范围800×1000×600mm，空间精度1.9μm）
激光干涉仪：Renishaw XL-80（线性测量分辨率0.001μm，最大量程80m）
光学轮廓仪：Bruker Contour Elite（垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.4μm）
表面粗糙度仪：Mitutoyo SJ-410（行程范围350μm-12.5mm，滤波器截止波长0.25-2.5mm）
电子水平仪：Fluke 8540（角度分辨率0.001°，测量范围±5°）