检测项目

1.圆度误差：测量实际轮廓与理想圆的径向偏差量程≤0.1-50μm

2.圆柱度误差：轴向截面内最大半径差≤0.5-100μm

3.同心度偏差：两轴线偏移量≤0.05-20μm

4.径向跳动量：旋转轴径向偏移≤0.3-30μm

5.波纹度分析：表面周期性起伏波长0.1-10mm

6.轮廓滤波参数：按ISO11562标准设置高斯滤波截止波长

检测范围

1.高精度轴承内外圈（GCr15钢/陶瓷材质）

2.液压伺服阀芯（不锈钢17-4PH）

3.光学透镜模仁（钨钢/碳化硅）

4.涡轮发动机叶片（镍基合金IN718）

5.半导体晶圆载具（PEEK复合材料）

6.精密齿轮齿圈（20CrMnTi渗碳钢）

检测方法

1.ISO12181-1:2011《几何产品规范(GPS)圆度》

2.GB/T4380-2004《圆度误差评定两点三点法》

3.ASTME3064-16《坐标测量机圆度测试规程》

4.ISO/TS12180-2:2021《圆柱度测量数据处理规范》

5.GB/T7234-2004《圆度测量术语及定义》

6.VDI/VDE2617《高精度圆度测量仪校准规范》

检测设备

1.TaylorHobsonTalyrond585：纳米级圆度仪，最大测量直径500mm

2.MitutoyoRA-2200：全自动圆柱度仪，Z轴行程600mm

3.ZeissPrismoUltra：多传感器坐标测量机，空间精度0.3+L/600μm

4.MahrMarFormMMQ400：磁悬浮主轴圆度仪，分辨率1nm

5.TokyoSeimitsuCV-3200：影像测量系统集成圆度分析模块

6.HexagonLeitzPMM-C：超高精度三坐标测量机（0.5μm/m）

7.Hommel-EtamicRoundscan535：便携式无线圆度测量系统

8.JenoptikWavelineAdvance：激光干涉式圆度测量仪（0.02μm）

9.KeyenceCV-X1000系列：机器视觉在线圆度检测系统

10.AliconaInfiniteFocusG5：光学3D圆度测量（垂直分辨率10nm）