检测项目

1.纹道深度：测量范围0.1-5.0mm，分辨率0.5μm

2.纹道宽度：精度1μm（0.02-3.0mm量程）

3.间距均匀性：相邻纹道中心距偏差≤2%

4.角度偏差：轴向夹角测量误差≤0.1

5.表面粗糙度：Ra值检测范围0.05-25μm

6.三维形貌重建：点云密度≥500万点/cm

检测范围

1.金属材料：汽车发动机缸体珩磨纹/齿轮啮合面滚压纹

2.塑料制品：光学导光板微结构/包装材料防滑纹理

3.陶瓷基材：精密轴承滚道/半导体晶圆切割痕

4.复合材料：碳纤维预制体编织纹/刹车片摩擦沟槽

5.涂层表面：PVD镀层微坑/热障涂层激光织构化处理面

检测方法

1.ASTME165-23《光学显微镜法测定表面纹理特征》

2.ISO25178-2:2022《非接触式三维表面形貌测量规范》

3.GB/T10610-2018《产品几何技术规范表面结构轮廓法测量标准》

4.ISO4287:2020《表面粗糙度术语定义及参数体系》

5.GB/T3505-2021《表面结构轮廓法术语定义及表面结构参数》

检测设备

1.KeyenceVHX-7000数字显微镜：5000万像素CMOS传感器，20nm纵向分辨率

2.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：0.01nm垂直分辨率三维形貌重建

3.MitutoyoSurftestSJ-410轮廓仪：0.75%精度接触式粗糙度测量

4.ZeissAxioCSM700共聚焦显微镜：405nm激光光源三维扫描系统

5.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：12000光学放大倍率纳米级观测

6.NanoveaST400三维轮廓仪：双传感器技术实现微米级复合测量

7.AliconaInfiniteFocusG5焦点变化系统：100mm100mm大视场自动拼接

8.TaylorHobsonTalysurfi-Series触针式轮廓仪：16bit高精度模数转换系统

9.SensofarSneox三维光学轮廓仪：多模式混合测量技术（PSI/VSI）

10.HitachiTM4000Plus桌面电镜：15kV加速电压下5nm分辨率成像