检测项目

气密性检测：泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s，测试压力0.1-10MPa（绝压）

耐压强度测试：爆破压力≥1.5倍设计压力，保压时间≥30min

动作响应时间：全开/闭周期≤200ms（真空度≤1kPa）

材料耐腐蚀性：按GB/T 10125盐雾试验96h无点蚀

疲劳寿命测试：≥10⁶次启闭循环（压差0.1-0.5MPa）

检测范围

不锈钢系列阀门（304/316L材质）

铝合金真空截止阀（ADC12/T6热处理）

工程塑料阀体（PEEK/PTFE复合材料）

陶瓷涂层密封面（Al₂O₃/ZrO₂镀层）

橡胶密封件（氟橡胶/丁腈橡胶制品）

检测方法

ASTM F2600-18真空阀门泄漏率测试规程

ISO 16010:2017气密装置整体性评价方法

GB/T 13927-2018工业阀门压力试验规范

GB/T 38519-2020真空技术阀门动态特性测试

ISO 4892-3:2016塑料材料光老化试验标准

检测设备

INFICON ELT3000氦质谱检漏仪（灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s）

MTS 322液压伺服试验机（载荷范围0-50kN）

Agilent 34972A数据采集系统（16位分辨率，100kS/s）

QUV/spray紫外老化箱（UVA-340光源，辐照度1.55W/m²）

Festo EXCM-24高速电磁阀测试台（响应时间≤5ms）