检测项目

1.光学平行度偏差：测量棱镜工作面间夹角误差（0.5角秒级精度）

2.折射率均匀性：采用632.8nm波长测定Δn≤510⁻⁶

3.表面粗糙度：Ra值控制范围0.2-5nm（依据ISO10110-8标准）

4.角度公差：直角棱镜902"验证（基于ISO9022-1规范）

5.镀膜性能：532nm波段反射率≥99.8%（ASTMF1048测试规程）

6.应力双折射：最大允许光程差＜5nm/cm（GB/T7962.12方法）

检测范围

1.BK7/K9光学玻璃棱镜组（尺寸范围Φ5-300mm）

2.氟化钙/氟化镁晶体红外棱镜（3-12μm波段适用）

3.微棱镜阵列（单元尺寸50-500μm级）

4.偏振分光棱镜（消光比＞1000:1验证）

5.树脂复合棱镜（热膨胀系数＜710⁻⁶/℃）

6.金属基底反射棱镜（面形精度λ/10@633nm）

检测方法

1.ASTME903-20标准光谱反射/透射率测试法

2.ISO14999-4光学元件干涉测量规范

3.GB/T2831-2009光学零件角度检验方法

4.ISO10110-7表面疵病等级评定系统

5.GB/T7661-2009光学零件气泡度检验规程

6.DIN3140棱镜系统成像质量评价标准

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：面形精度0.5nmRMS测量能力

2.TriopticsOptiCentric双光路准直系统：角度测量分辨率0.1角秒

3.MitutoyoSURFTESTSJ-410轮廓仪：Ra测量范围0.01-40μm

4.AgilentCary7000分光光度计：190-3300nm全波段透射率分析

5.OlympusSTM7测量显微镜：500万像素数字成像系统

6.PrismMasterPro折射率测定仪：Δn分辨率达110⁻⁶

7.NewportAutoAlign激光准直系统：光轴对准精度0.5μm

8.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm级三维形貌重建

9.Schmidt+HaenschPolatest偏振分析仪：消光比测量精度0.5%

10.KeysightN7788B热应力测试系统：温度控制范围-40℃~+150℃