检测项目
1.介质纯度：测定非挥发性残留物含量（≤0.01%），采用重量法分析
2.颗粒度分布：测量粒径范围（0.1-50μm），D50值偏差≤5%
3.水分含量：控制游离水含量（≤50ppm），露点温度≤-40℃
4.化学成分：检测硫化物（≤5mg/kg）、氯化物（≤3mg/kg）等腐蚀性物质
5.气体组分：分析氧气（≤0.5%）、二氧化碳（≤0.2%）等杂质浓度
6.压力稳定性：测试介质输送压力波动范围（0.05MPa）
检测范围
1.工业气体介质：氮气、氩气、二氧化碳等惰性吹扫气体
2.金属粉末介质：不锈钢微粉、铝基研磨颗粒等机械清洗材料
3.聚合物颗粒：聚乙烯微珠、聚丙烯磨料等非金属清洗介质
4.液态清洗剂：烷烃类溶剂、氟化液等挥发性液体介质
5.超临界流体：二氧化碳超临界态清洗介质
6.干冰颗粒：固态二氧化碳喷射清洗介质
检测方法
1.ASTME29-20：标准实践规范用于颗粒粒度分析
2.ISO8573-1:2010：压缩空气污染物等级测定方法
3.GB/T6286-2021：工业用化学产品水分测定通用方法
4.ASTMD7821-19：气相色谱法测定高纯气体杂质
5.GB/T34796-2017：超临界二氧化碳流体纯度测试规范
6.ISO12154:2014：干冰喷射清洗介质性能评估方法
检测设备
1.Agilent7890B气相色谱仪：用于气体组分及挥发性有机物分析
2.MalvernMastersizer3000激光粒度仪：测量0.01-3500μm颗粒分布
3.MettlerToledoC30S卡尔费休水分仪：精度3ppm水分测定
4.ThermoScientificiCAPRQICP-MS：痕量金属元素检测限达ppt级
5.BrukerTENSORII傅里叶红外光谱仪：有机物成分快速鉴定
6.PamasS4031自动颗粒计数器：液体介质粒径统计与计数
7.VaisalaDM500露点仪：-80~+20℃露点温度测量精度2℃
8.ShimadzuMOC63u不挥发物测定仪：分辨率0.01mg称量系统
9.Fluke725压力校准器：0-10MPa压力测试精度0.025%FS
10.HoribaEMIA-920V碳硫分析仪：ppm级硫元素定量检测