微棱镜调焦检测

检测项目

1.棱镜角度偏差：0.05（90直角棱镜基准）

2.表面粗糙度：Ra≤0.8μm（ISO10110-8:2020）

3.透射波前畸变：λ/8@632.8nm（ASTME903-12）

4.光轴偏移量：≤3μm（GB/T12085.4-2022）

5.胶合层气泡缺陷：Φ≤0.1mm且总数≤3个（MIL-PRF-13830B）

6.镀膜均匀性：ΔT≤2%@400-700nm（ISO9211-4:2012）

检测范围

1.激光雷达用直角棱镜组（BK7/FusedSilica材质）

2.内窥镜调焦模块（直径Φ2-10mm微型棱镜）

3.投影光刻机分光棱镜（氟化钙晶体基底）

4.军用观瞄系统屋脊棱镜（钛合金封装结构）

5.光纤准直器胶合棱镜（紫外固化胶粘接工艺）

6.AR眼镜偏振分束棱镜（纳米压印衍射结构）

检测方法

1.ASTME903-12透射率积分球测试法

2.ISO10110-5:2015光学元件面形误差评价法

3.GB/T12085.14-2022环境试验振动测试规程

4.DIN3140-7:2019棱镜角度自准直测量法

5.GB/T2831-2009光学零件气泡度检验规范

6.ISO14997:2011光学表面缺陷激光散射检测法

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/20PV值测量

2.TaylorHobsonTalysurfCCILite轮廓仪：0.1nm纵向分辨率表面粗糙度分析

3.TriopticsOptiCentric双光路中心仪：0.5μm光轴对准误差检测

4.MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标测量机：0.6+L/600μm三维尺寸计量

5.OlympusSTM7测量显微镜：500万像素数字成像表面缺陷分析

6.AgilentCary7000分光光度计：175-3300nm宽光谱透射率测试

7.NewportAutoAlign旋转平台：0.001角度定位精度校准系统

8.Schmidt+HaenschKPA100偏光分析仪：消光比＞60dB偏振特性测试

9.JenoptikO-INSPECT复合式测量机：白光共聚焦+接触式探针复合测量

10.KeysightN7788B光波元件分析仪：1520-1625nm波段群延迟测量