检测项目

1.球差（SphericalAberration）：PV值≤λ/4@632.8nm，RMS值≤λ/20

2.彗差（ComaAberration）：角向偏差≤3arcmin，非对称系数≤0.15

3.像散（Astigmatism）：正交方向波前差≤λ/6，焦平面分离量≤5μm

4.场曲（FieldCurvature）：曲率半径偏差≤0.05%，MTF下降率≤15%@30lp/mm

5.畸变（Distortion）：相对畸变量≤0.1%，TV畸变≤1.5%

检测范围

1.光学镜头：含手机镜头、工业相机镜头及天文望远镜物镜

2.激光系统：包括光纤耦合器、激光扩束器及谐振腔镜组

3.显微物镜：涵盖生物显微镜、共聚焦显微镜的40X-100X物镜

4.投影镜头：DLP/LCD投影系统的F-Theta镜头及短焦镜头

5.光纤器件：保偏光纤连接器、WDM波分复用器端面

检测方法

1.ISO10110-5:2015光学元件表面公差与波前畸变测试

2.GB/T12085.4-2022光学系统环境试验方法-像质稳定性测试

3.ASTME2175-01(2020)激光光束质量M因子测量标准

4.ISO9334:2019光学传递函数(MTF)的实验室测量程序

5.GB/T26332.8-2022光学显微系统成像性能测试规范

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，精度λ/1000PV值测量

2.TriopticsImageMasterHR像质分析仪：支持ISO12233分辨率测试卡分析

3.OptikosLensCheck系列MTF测试仪：频率范围0-200lp/mm可调

4.4DTechnologyPhaseCam干涉仪：动态范围10λ，振动免疫测量

5.HamamatsuC10910D波前传感器：微透镜阵列型，采样率1kHz

6.OphirSpiriconM-200激光光束分析仪：M因子测量精度3%

7.ThorlabsWFS-300Shack-Hartmann传感器：子孔径数量3232阵列

8.MitutoyoMF-U1000超景深显微镜：垂直分辨率0.1μm的3D像差分析

9.KeysightCary7000全能型分光光度计：光谱范围175-3300nm像差测试

10.FisbaμPhase动态干涉仪：适用于φ300mm大口径光学元件检测