检测项目

氧气浓度检测：范围0.1 ppm至25 vol%，精度±0.5% FS

湿度检测：露点温度-80℃至+20℃，分辨率0.1℃

可燃气体检测：LEL（爆炸下限）0-100%，响应时间＜15秒

腐蚀性气体检测：H₂S（0-50 ppm）、Cl₂（0-20 ppm）等

气体流速检测：0.01-30 m/s，误差＜1.5%

检测范围

金属热处理：退火/淬火炉内保护气氛（N₂、H₂混合气）

半导体生产：晶圆加工腔室高纯惰性气体（Ar、He）

锂电池制造：干燥房露点控制（≤-40℃）

化工反应器：氧化/还原反应过程气体监控（O₂、CO₂）

医疗包装：无菌充氮包装残留氧检测（≤0.5%）

检测方法

ASTM D7542-21：氧浓度测定（电化学传感器法）

ISO 8573-3:2023：压缩空气湿度测量（冷镜式露点仪）

GB/T 50493-2019：可燃气体检测报警系统技术规范

ASTM D5504-12(2023)：硫化氢气相色谱分析法

ISO 10780:1994：固定源排放气体流速测定（皮托管法）

检测设备

Thermo Scientific MaxO2+IA：氧分析仪，支持高温（1200℃）原位检测

GE Panametrics hygroPort：便携式露点仪，精度±0.5℃

RAE Systems MultiRAE Pro：五合一气体检测仪（PID+电化学）

HORIBA VA-5000：傅里叶红外分析仪，可测15种腐蚀性气体

TSI VelociCalc 9565-P：热式风速计，带温度/压力补偿功能