检测项目
1.真空度保持能力：初始压力≤110⁻Pa，24小时压力上升值≤510⁻Pa
2.泄漏率测试：氦质谱检漏法灵敏度≤110⁻Pam/s
3.材料放气率测定：总质量损失(TML)≤1.0%，收集可凝挥发物(JianCeM)≤0.1%
4.热真空循环试验：温度范围-196℃~+150℃，循环次数≥50次
5.气体渗透系数测定：氧气渗透率≤510⁻⁴cmcm/cmsPa
检测范围
1.航天器密封舱体及推进系统组件
2.半导体制造用高纯气体输送管路
3.医用真空包装材料的阻隔性能验证
4.核工业用乏燃料贮存容器密封性评估
5.超导磁体低温恒温器真空绝热性能测试
检测方法
ASTME595-22材料在真空环境中总质量损失和挥发物测定标准试验方法
ISO14644-7:2023洁净室及相关受控环境-第7部分：隔离装置（洁净罩）
GB/T31480-2015深冷容器用高真空多层绝热材料放气率测试方法
ASTMF998-21半导体器件用氦质谱仪检漏的标准试验方法
GB/T15112-2020医用输液、输血器具密封性试验方法
检测设备
1.Agilent9790B氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s
2.EdwardsSTP-A4503分子泵机组：极限真空度510⁻⁷Pa
3.INFICONTranspectorCPM：残余气体分析仪（质量数1-100amu）
4.LeyboldCoolvac8.0低温泵系统：制冷功率8W@20K
5.MKS925型电容薄膜规：测量范围110⁻⁴Pa~110⁵Pa
6.PfeifferVacuumOmniStarGSD320：四极杆质谱气体分析系统
7.VarianCary7000紫外可见分光光度计：JianCeM定量分析装置
8.ThermoScientificC-Series石英晶体微天平：实时质量变化监测精度0.1ng/cm
9.VacuumTechnologyIncModel760热真空试验箱：有效容积2m
10.KurtJ.LeskerAXXIS数字电离规：宽量程真空测量（110⁻⁰~1000Torr）