检测项目
1.压电常数d33/g33测定:采用准静态法测量纵向压电系数(单位pC/N或mVm/N),精度1.5%
2.机电耦合系数测试:通过谐振反谐振法计算kt/kp值(范围0.1-0.8),误差≤0.5%
3.介电性能分析:测量相对介电常数εr(100-10000)与损耗角tanδ(<0.05)
4.弹性柔顺系数s11E测定:采用脉冲回波法获取弹性参数(单位10-12m/N)
5.居里温度点判定:通过热膨胀法确定相变温度(范围50-400℃),温控精度0.5℃
检测范围
1.锆钛酸铅(PZT)基压电陶瓷材料及器件
2.铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)单晶基片
3.PVDF/PZT复合柔性压电薄膜材料
4.MEMS压电微执行器与传感器模组
5.多层叠堆式压电变压器元件
检测方法
ASTME2100-18:压电陶瓷材料介电性能标准测试规程
IEC60483-2004:压电振子谐振频率参数测量指南
GB/T11309-2018:压电材料纵向压电常数d33测试方法
ISO17561:2016:精细陶瓷弹性性能激光超声测定法
GB/T3389.1-2016:压电陶瓷材料性能测试通用要求
检测设备
1.Agilent4294A精密阻抗分析仪:频率范围40Hz-110MHz,支持复阻抗测量
2.PolytecOFV-5000激光测振仪:位移分辨率0.02nm,频响DC-25MHz
3.aixACCTTFAnalyzer2000:准静态d33测试仪(量程2000pC/N)
4.KeysightE4980ALLCR表:基本精度0.05%,支持四端对测量
5.NetzschDIL402Expedis热膨胀仪:温度范围-160℃~1550℃
6.OlympusPanametrics-NDT5800PR:脉冲发射接收器(带宽200MHz)
7.SinoceraYE2730Ad33系数测试仪:自动极化电压控制(0-3kV)
8.Brel&Kjr4810振动激励系统:最大推力50N,频率范围5Hz-10kHz