检测项目

1.几何焦点位置偏差：采用三维坐标测量法，精度要求0.5μm
2.焦斑尺寸均匀性：能量分布标准差≤3%
3.轴向色差测试：波长范围400-1000nm时偏差≤2nm
4.焦深测试范围：覆盖0.1-10mm量程
5.离轴像差分析：RMS值≤λ/8@632.8nm

检测范围

1.非球面/自由曲面光学透镜
2.激光加工头聚焦模块
3.医疗内窥镜成像系统
4.手机/车载相机模组
5.高功率光纤耦合器

检测方法

1.ASTME903-20分光光度法测定光谱聚焦特性
2.ISO9334:2012焦深测试标准流程
3.GB/T12085.6-2022环境试验后焦点稳定性验证
4.ISO10110-5:2015光学系统波像差评估
5.GB/T26331-2010激光光束参数测量规范

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，PV值精度λ/200
2.MitutoyoCMM三次元测量机：空间分辨率0.1μm
3.OphirSpiriconSP928激光束分析仪：采样率30Hz
4.NikonNIS-Elements显微镜系统：200物镜NA0.95
5.AgilentCary7000分光光度计：光谱带宽0.05nm
6.TriopticsImageMasterMTF测试仪：空间频率200lp/mm
7.BrukerContourGT白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm
8.Newport光学平台系统：隔振频率1Hz以下