检测项目
1.凹面曲率半径测定：测量范围0.5-5.0mm，精度0.005mm
2.尖端角度偏差分析：角度范围30-120，公差0.1
3.表面粗糙度检测：Ra0.05-3.2μm，Rz0.4-25μm
4.配合间隙测量：分辨率0.001mm，量程0-2mm
5.材料硬度验证：维氏硬度HV100-1000，洛氏硬度HRC20-70
检测范围
1.精密机械密封环与轴套组件
2.光学棱镜与镜座配合系统
3.液压阀芯与阀体偶件
4.微型轴承滚道与滚珠组件
5.半导体晶圆夹具定位结构
检测方法
ASTMB89-20圆柱形零件圆度测量规范
ISO10110-5:2015光学元件表面缺陷评定
GB/T1958-2017产品几何量技术规范(GPS)形状和位置公差检测规定
ASTME384-22材料显微硬度测试标准
GB/T1804-2000一般公差线性尺寸的未注公差
检测设备
1.MitutoyoCRYSTA-ApexS系列三坐标测量机：空间精度(1.9+L/250)μm
2.TaylorHobsonFormTalysurfi系列轮廓仪：垂直分辨率0.8nm
3.ZEISSO-INSPECT322复合式测量系统：多传感器集成检测
4.KeyenceVR-50003D形貌分析仪：最大倍率5000X
5.InstronWilsonTukon2500显微硬度计：载荷范围10gf-50kgf
6.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：Z轴分辨率10nm
7.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：便携式现场检测
8.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：非接触式表面测量
9.Agilent5530动态校准仪：激光干涉精度0.5ppm
10.NikonMM-400测量显微镜：双轴数字显示系统