检测项目
1.发散角偏差:测量实际发散角与理论值的偏差范围(0.5以内)
2.光斑均匀性:分析光斑能量分布标准差(≤5%)
3.波长稳定性:记录工作周期内波长漂移量(0.2nm)
4.光束椭圆度:计算X/Y轴光斑直径比值(1.00.1)
5.功率衰减率:连续运行8小时功率下降幅度(≤3%)
检测范围
1.半导体激光器模组(波长范围405-1550nm)
2.光纤准直器(单模/多模光纤适配)
3.光学镜头组(含非球面透镜/柱面镜)
4.激光加工头(切割/焊接用聚焦系统)
5.空间光调制器(LCOS/DMD型)
检测方法
ASTME111-2017激光发散角测试方法
ISO13694:2018激光束能量分布测试规范
GB/T15313-2008激光术语及参数定义
GB/T31359-2015半导体激光器测试方法
ISO11145:2018光学与光子学词汇标准
检测设备
1.OphirSP928激光发散角测试仪:测量精度0.05,支持连续/脉冲模式
2.ThorlabsBP209-IR光束分析系统:CCD分辨率19201200,光谱响应400-1700nm
3.KeysightN7744A多通道光功率计:动态范围-70dBm至+27dBm
4.NewportMS257单色仪:波长分辨率0.05nm@532nm
5.HamamatsuC10910-10光束轮廓仪:采样率1MHz,支持TEM模式分析
6.Agilent86100D示波器:带宽70GHz,时基精度1ppm
7.PIS-340高速位移台:定位精度0.1μm,行程范围200mm
8.LabsphereLMS-760积分球:直径76cm,光谱范围250-2500nm