检测项目

1.元素定量分析：检出限≤0.1ppm，动态范围10^6

2.特征波长校准：波长精度0.02nm（200-800nm）

3.谱线强度线性度：R≥0.9995（浓度梯度测试）

4.信噪比测试：≥100:1（1s积分时间）

5.等离子体温度测量：误差≤5%（玻尔兹曼图法）

检测范围

1.金属合金材料：铝合金/钛合金/高温合金成分分析

2.半导体材料：GaAs/SiC/GaN外延层掺杂浓度测定

3.环境样品：土壤/水体中重金属元素(Pb/Cd/As)检测

4.地质标本：稀土元素(La/Ce/Nd)定量分析

5.生物医学样本：血液/组织中微量元素(Fe/Zn/Cu)测定

检测方法

ASTME1257-16电感耦合等离子体原子发射光谱法通则

ISO14707:2015辉光放电发射光谱表面分析规范

GB/T20975.25-2020铝及铝合金化学分析方法-发射光谱法

GB/T13747.22-2019锆及锆合金化学分析-电感耦合等离子体发射光谱法

ASTMD1976-19水中金属元素ICP-OES测定标准方法

检测设备

ThermoScientificiCAP7400：全谱直读ICP-OES，轴向观测系统

Agilent4100MP-AES：微波等离子体原子发射光谱仪

HoribaJobinYvonUltimaExpert：高分辨率CCD光谱仪（2400gr/mm光栅）

BrukerGDS850A：辉光放电发射光谱仪（深度分辨率10nm）

PerkinElmerOptima8300：双向观测ICP-OES（紫外区量子效率＞45%）

ShimadzuICPE-9820：三维全息光栅（3600条/mm），焦距1m

GBCOptimass9500：飞行时间质谱联用系统（质量分辨率＞6000）

RigakuOE750：真空紫外光谱仪（120-190nm波段检测）