检测项目

温度均匀性检测：炉内三带区域温度偏差≤±5℃，保温阶段波动≤±2℃

气氛控制精度检测：氧含量≤10ppm，碳势控制误差±0.05%C

加热速率检测：室温至1000℃升温时间≤60min，偏差≤5%

能耗效率检测：单位产品热耗≤1200kJ/kg，热效率≥85%

密封性能检测：炉压泄漏率≤0.5m³/h，负压保持时间≥30min

检测范围

金属材料：铝合金时效处理（2XXX/7XXX系列）、钛合金真空退火

复合材料：碳纤维预浸料固化（T300/T800级）

陶瓷材料：氮化硅烧结（HIP工艺）

电子元件：半导体扩散炉管热测试

特种钢材：模具钢淬火（H13/DC53）

检测方法

温度均匀性：AMS2750E Class 2标准，9点测温法（GB/T 9452）

碳势控制：ISO 10136-3氧化锆探头法，GB/T 13303钢箔定碳

密封检测：ISO 10683氦质谱检漏，GB/T 1184正压衰减法

能耗计算：ASME PTC 4.1热平衡法，GB/T 2587等熵效率模型

材料性能验证：ASTM E407金相分析，ISO 6892-1拉伸试验

检测设备

温度巡检仪：Agilent 34972A（32通道，0.01℃分辨率）

气氛分析系统：SERVOMEX 4100（CO/CO₂/O₂三气分析，±0.5%精度）

热流计：Hukseflux HF01（量程0-500kW/m²，响应时间1ms）

密封测试仪：INFICON UL1000（检出限5×10⁻⁸ mbar·L/s）

红外热像仪：FLIR T865（640×480像素，-40℃~1500℃量程）