检测项目

1.平面度误差：测量表面与理想平面的最大偏离值（≤0.05mm）

2.表面粗糙度：Ra值范围0.1-6.3μm，Rz值范围0.5-25μm

3.曲率半径：检测半径公差0.02mm（适用于曲面元件）

4.角度偏差：相邻平面夹角误差0.1

5.波纹度：波长0.1-10mm范围内的周期性起伏高度（≤2μm）

检测范围

1.金属材料：铝合金基板、钛合金植入体等

2.塑料制品：光学镜片基材、导光板等

3.陶瓷材料：半导体晶圆、压电陶瓷片等

4.复合材料：碳纤维增强板、多层电路板等

5.电子产品：手机盖板玻璃、显示屏模组等

检测方法

1.ASTME1967-19：非接触式三维扫描测量规范

2.ISO25178-2:2022：表面纹理的几何产品规范(GPS)

3.GB/T29531-2013：平面度误差检测方法

4.ISO1101:2017：几何公差标注与验证标准

5.GB/T1031-2009：表面粗糙度参数及其数值规定

检测设备

1.HexagonGlobalAdvantage三坐标测量机：精度0.6μm+L/400μm

2.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：分辨率0.01μm

3.KeyenceVR-5000三维轮廓仪：Z轴重复精度0.02μm

4.ZygoNewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm

5.ZeissO-INSPECT322复合式测量系统：CTP精度1.9μm

6.TaylorHobsonFormTalysurfPGIOptics轮廓仪：曲率半径测量范围90

7.NikonNEXIVVMZ-S3020视频测量系统：最大放大倍率3500X

8.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：XY分辨率120nm

9.RenishawREVO五轴测量系统：动态精度1.9μm

10.MarSurfLD260接触式轮廓仪：最大行程200mm