检测项目

1.泄漏率测试：氦质谱法测定≤110⁻⁹Pam/s（标准工况-0.1MPa）

2.抗拉强度测试：≥12MPa（ASTMD412标准试样）

3.压缩永久变形率：≤15%（70℃24h/GB/T7759）

4.耐温性能验证：-60℃~250℃循环冲击（ISO3384）

5.耐化学腐蚀性：72h浸泡（酸碱溶液pH1-13）质量变化≤3%

检测范围

1.硅橡胶真空垫：半导体制造设备晶圆固定装置

2.氟橡胶密封垫：高真空镀膜机腔体密封系统

3.聚氨酯缓冲垫：自动化机械臂吸盘组件

4.EPDM橡胶垫片：医疗灭菌设备门封系统

5.金属波纹管密封组件：航天器真空模拟舱接口

检测方法

ASTMD1414-94(2018)：橡胶O型圈标准试验方法

ISO3601-3:2021：流体动力系统密封件尺寸检验规范

GB/T3452.2-2007：液压气动用O形橡胶密封圈试验方法

ASTME595-07(2019)：真空环境材料放气特性测定

GB/T528-2009：硫化橡胶拉伸性能测定

检测设备

LeyboldPHOENIXL300i氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s

Instron5967双立柱拉力试验机：50kN载荷精度0.5%

EspecPL-3J温湿度交变箱：-70℃~180℃快速温变率15℃/min

Agilent7890B气相色谱仪：VOC释放量分析（ppb级）

MitutoyoCR-3000色彩色差计：ΔE≤0.08表面老化评估

PerkinElmerDMA8000动态热机械分析仪：-150~600℃模量测量

BrukerContourGT-X3白光干涉仪：表面粗糙度Ra≤0.01μm测量

ShimadzuICPE-9820等离子发射光谱仪：重金属迁移量检测

ZWICKRoellBAREISS测厚仪：0.001mm分辨率接触式测量

LabthinkMFY-01密封试验仪：0~250kPa正负压测试系统

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

　　以上是与真空垫检测相关的简单介绍，具体试验/检测周期、检测方法和仪器选择会根据具体的检测要求和标准而有所不同。北检研究院将根据客户需求合理的制定试验方案。