检测项目

1.几何尺寸精度：平面度≤0.02mm/m，平行度公差0.015mm

2.表面缺陷识别：裂纹宽度≥5μm，气孔直径≥0.1mm

3.三维形貌重建：Z轴分辨率0.8μm@100mm视场

4.材料厚度测量：量程0.05-50mm，精度0.25%FS

5.热变形量分析：温度梯度20-300℃，形变监测精度1.2μm

检测范围

1.金属结构件：航空发动机叶片/汽车冲压件/精密模具

2.复合材料板材：碳纤维层压板/陶瓷基复合材料

3.电子元器件：PCB基板/芯片封装/BGA焊点

4.光学镜片：非球面透镜/自由曲面光学元件

5.塑料制品：注塑件收缩变形/薄膜厚度分布

检测方法

ASTME2544-15数字成像系统校准规范

ISO25178-6:2010表面粗糙度光学测量法

GB/T11337-2004形状和位置误差测量准则

GB/T2611-2007试验机通用技术要求

ISO10360-7:2011坐标测量机验收标准

检测设备

1.ZEISSCOMETL3D2M：蓝光三维扫描仪，点距精度1.9μm+3.5μm/m

2.KEYENCEVR-5000：4K级影像测量系统，重复精度0.3μm

3.OLYMPUSDSX1000：数码显微镜系统，最大放大倍率7000X

4.MITUTOYOQV-Apex303：全自动影像仪，XY轴定位精度(1.5+3L/1000)μm

5.GOMATOSQ：三维光学扫描系统，单幅测量点数400万

6.NIKONMM-400：激光位移计，采样频率50kHz

7.HEXAGONAbsoluteArm7Axis：便携式三坐标测量臂，空间精度15μm

8.STILCONFOCALCHR200：共聚焦传感器，Z轴分辨率10nm

9.JENOPTIKO-INSPECT442：多传感