检测项目

1.反射率测试：波长范围400-1600nm，入射角0-45，允差0.5%

2.面形精度分析：PV值≤λ/4（λ=632.8nm），RMS≤λ/20

3.表面粗糙度测量：Ra≤1nm（扫描区域11mm）

4.角度偏差校准：五面角累积误差≤3″（秒）

5.镀膜厚度检验：Al/MgF₂多层膜厚度公差5nm

检测范围

1.光学玻璃五面镜：K9、熔融石英等材质棱镜组件

2.金属基底五面镜：铝合金/钛合金高精度加工件

3.聚合物五面镜：PMMA/PC注塑成型光学元件

4.激光系统反射镜：1064nm/1550nm高功率应用场景

5.高精度棱镜组件：大地测量仪/天文望远镜核心部件

检测方法

1.ASTME903-2022：分光光度法测定反射率特性

2.ISO10110-5:2015：光学元件表面缺陷等级评定规范

3.GB/T26331.1-2010：光学薄膜激光损伤阈值测试方法

4.ISO14997:2012：光学表面疵病定量检测规程

5.GB/T2831-2009：光学零件角度与棱镜度测试方法

检测设备

1.PerkinElmerLambda1050分光光度计：400-2500nm全波段反射率测试

2.ZygoVerifireMST干涉仪：λ/100精度面形误差分析

3.MitutoyoSJ-410表面粗糙度仪：0.01nm分辨率接触式测量

4.TriopticsAutocollimatorAC7000：0.1″级角度偏差校准系统

5.BrukerContourGT-X3白光干涉仪：非接触式三维形貌重建

6.Newport1918-C光功率计：200W高功率激光损伤测试

7.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜：100物镜纳米级缺陷观测

8.Agilent5500原子力显微镜：亚纳米级表面粗糙度分析

9.OptoTechPMP120精密测角仪：360全周向角度测量系统

10.SCHOTTLASERline激光损伤测试平台：20J/cm能量密度阈值测定