检测项目
1.折射率分布:测量波长589.3nm下折射率偏差≤0.002
2.全内反射角精度:角度分辨率达0.01,误差范围0.05
3.色散值(火彩指数):基于CIE1931标准色度系统ΔE≤0.5
4.广角透射率:在30-120入射角范围内透光率≥98%
5.表面波前畸变:采用λ/20@632.8nm干涉仪精度标准
检测范围
1.天然Ia/IIa型单晶钻石
2.CVD/HPHT合成金刚石基片
3.金刚石复合窗口材料(ZnS/Diamond等)
4.纳米多晶金刚石涂层(厚度50-500μm)
5.金刚石声学传感器压电元件
检测方法
ASTME2935-17:金刚石光学元件广角散射特性测试规范
ISO12853:2020:人造金刚石材料折射率测定方法
GB/T16554-2017:钻石分级中光学性能测试细则
GB/T38823-2020:化学气相沉积金刚石薄膜检测规范
ISO20341:2017:精密光学元件表面面形误差测量方法
检测设备
1.ZYGOVerifireMST-HD激光干涉仪:波长632.8nm,PV值精度λ/100
2.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计:190-2500nm波段,角度扫描步进0.1
3.BrukerContourGT-X3白光干涉仪:垂直分辨率0.1nm,XYZ扫描范围10010010mm
4.RenishawinViaQontor共焦拉曼光谱仪:空间分辨率<1μm,光谱范围200-1600cm⁻
5.KeysightN5227B矢量网络分析仪:频率范围10MHz-67GHz,相位精度0.5
6.MitutoyoCMM-CrystaApexS坐标测量机:空间精度(1.2+L/400)μm
7.OlympusLEXTOLS5000激光显微镜:Z轴分辨率0.01nm,最大放大倍数10800
8.AgilentCary7000全能型分光椭偏仪:入射角调节范围20-90,波长范围190-3300nm