检测项目

1.真空度测试：测量极限真空度≤110⁻⁴Pa，24小时回升值≤510⁻Pa

2.泄漏率检测：氦质谱法测漏率≤110⁻⁹Pam/s

3.温度均匀性：工作区温差≤3℃（-196℃至300℃）

4.材料放气率：不锈钢表面放气率≤210⁻⁰Pam/(scm)

5.机械振动测试：频率10-2000Hz，振幅≤5μm

检测范围

1.高温合金真空钎焊组件

2.磁控溅射镀膜设备腔体

3.航天器热真空试验舱

4.电子束熔炼炉真空室

5.低温超导材料处理装置

检测方法

ASTME493-22静态升压法测系统总漏率

ISO21360:2019真空泵性能测试规范

GB/T3163-2022真空技术术语与定义

GB/T32218-2015真空镀膜设备检测方法

ISO1608-1:2020油封机械泵抽速测定

检测设备

1.INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻Pam/s）

2.AgilentUHV-24N复合真空计（量程10⁵~10⁻⁸Pa）

3.LeyboldRGA300残余气体分析仪（质量数1-300amu）

4.EdwardsSTP-451分子泵（极限真空510⁻⁷Pa）

5.PfeifferHLT260检漏台（自动校准功能）

6.MKS925B电容薄膜规（精度0.25%读数）

7.VarianTriScroll600干泵（无油抽气系统）

8.ThermoScientificMaxiMetGM25气体质谱仪（多组分分析）

9.Keysight34972A数据采集系统（同步监测32通道）

10.Fluke754过程校准仪（压力传感器标定）